氣體監(jiān)測(cè)

純凈的SF6氣體雖然無(wú)毒，但在工作場(chǎng)所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過(guò)大會(huì)出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)，設(shè)計(jì)戶(hù)內(nèi)通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場(chǎng)所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)設(shè)備。

1）電化學(xué)技術(shù)（TGS830、TGS832）費(fèi)加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測(cè)氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號(hào)的改變，以此來(lái)發(fā)現(xiàn)被檢測(cè)氣體。聯(lián)產(chǎn)法氯氟代甲烷和六氟化硫聯(lián)產(chǎn)，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯(lián)產(chǎn)。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以連續(xù)工作的特點(diǎn)。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長(zhǎng)設(shè)備壽命。近幾年，國(guó)家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)?lái)了很大的市場(chǎng)機(jī)遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國(guó)內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來(lái)，各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí)，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來(lái)用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，2010年我國(guó)將成為僅次于美國(guó)的世界第二大集成電路市場(chǎng)，總需求量約為500億美元。目前國(guó)內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線(xiàn)約有50條左右預(yù)計(jì)。2016年將達(dá)到700噸左右，

 國(guó)內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線(xiàn)有近50條，在未來(lái)的五年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線(xiàn)建成。每年約消耗高純六氟化硫?yàn)?00噸左右?？稍诤肆Ｗ觠ia速器及避雷器X射線(xiàn)設(shè)備中作為氣體的絕緣材料，利用SF6化學(xué)穩(wěn)定性好，對(duì)設(shè)備不腐蝕，在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑（操作溫度在－45～0℃之間），SF6對(duì)α-粒子有高度的停止能力，故在放i射化學(xué)中也有應(yīng)用。而國(guó)內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足市場(chǎng)需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴(lài)進(jìn)口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。

六氟化硫氣體泄漏檢測(cè)技術(shù)

 SF6氣體泄漏檢測(cè)主要采用了電化學(xué)技術(shù)、電i擊穿技術(shù)和紅外光譜吸收技術(shù)。

 1、電化學(xué)技術(shù)：電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測(cè)氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號(hào)的改變，以此來(lái)發(fā)現(xiàn)被檢測(cè)氣體。

 2、電i擊穿技術(shù)：電i擊穿技術(shù)是從SF6氣體在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開(kāi)關(guān)柜中演變而來(lái)的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測(cè)空氣中的高壓電極間電壓的變化來(lái)判斷空氣中是否含有SF6氣體。

 3、紅外光譜吸收技術(shù)：紅外光譜吸收技術(shù)(又稱(chēng)激光技術(shù)）的原理是SF6作為溫室氣體，對(duì)特定波段的紅外光有很強(qiáng)烈的吸收特性。

      六氟化硫氣體是一種安全無(wú)毒的氣體，不會(huì)對(duì)皮膚和眼睛造成傷害。但是說(shuō)SF6氣體無(wú)害的前提是純品六氟化硫，如果是高壓開(kāi)關(guān)中已經(jīng)使用過(guò)很多次的SF6氣體，當(dāng)然就不安全了。高溫、水分、高壓以及電弧作用，會(huì)導(dǎo)致SF6氣體分解出許多有毒物質(zhì)，此外高溫的SF6氣體電離產(chǎn)生的電弧本身也非常危險(xiǎn)。大家知道，目前化工行業(yè)制造六氟化硫氣體的方法主要是采用單質(zhì)硫磺與過(guò)量氣態(tài)氟直接化合反應(yīng)而成。六氟化硫防護(hù)是保護(hù)工作人員的必備措施，不光是定期檢查SF6鋼瓶、高壓SF6設(shè)備還是穿著六氟化硫防護(hù)服都屬于六氟化硫防護(hù)的內(nèi)容。