氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-真空法，真空法首要應用于真空密封功能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設備等。真空法檢測靈敏度高，能夠準確定位，能完成大容器或雜亂結構產(chǎn)品的檢漏?？墒侵荒芡瓿梢粋€大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產(chǎn)品的實在走漏狀況?？墒沁@種檢漏體系雜亂，需求依據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設計真空密封室，在檢漏過程要求確保充氣管道接口無走漏，或者采取特別的結構設計將一切充氣管道銜接接口放置在真空密封室外部。

選用真空法檢漏時，需求使用輔佐真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產(chǎn)品外外表施氦氣，當被檢產(chǎn)品外表有漏孔時，氦氣就會經(jīng)過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品走漏量丈量。依照施漏氣體辦法的不同，又能夠將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其間真空噴吹法選用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外外表噴吹氦氣，能夠完成漏孔的準確定位；特種氣體系統(tǒng)的設計與施工供氣系統(tǒng)的選擇簡單供氣系統(tǒng)簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。 真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來，在罩內(nèi)充溢必定濃度的氦氣，能夠完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

特種氣體管道

氣體滲透性：

氣體從壓力(或分壓力)高的一側透過材料向壓力(或分壓力)低的一側流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因為空氣中氧氣和氮氣分壓力1大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮氣的滲透 ， 一般對氧氣的滲透測試比較多。

特氣管道試壓

　　1、管道試壓前應全1面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等，質(zhì)量應符合設計要求及技術規(guī)范的規(guī)定。

　　2、管道試壓應編制試驗方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線，如放空管、排液管等可不進行試壓。

特種氣體：氦氣

氦氣具有化學惰性，常被用做半導體工業(yè)的保護氣和科學實驗中的載體氣。氦氣可以隔絕氧氣，避免電焊工件、單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生化學反應。目前，保護氣已成為氦氣的第二大應用領域。在氣相色譜中，氦氣作為載體氣可運送被測氣體且不與其發(fā)生反應。

 氦氣分子1小，使其穿透能力強、密度1小，被用做管道檢漏，可解決單純依靠聲波檢測技術無法解決的問題，對深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道，特別是低壓運行的管道，有明顯的檢測效果。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設計

對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會考慮配置的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇1毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區(qū)設計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。如果沒有管帽，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。