愛德華真空泵性格技術(shù)參數(shù)

一、XD系列干泵（渦旋泵）

真空腔內(nèi)無潤滑油脂從而確保無污染；使用壽命更長，維護更少；強大的水蒸汽處理能力；XD系列渦旋泵，抽速4.8-35m3／h，極限真空10-2mbar。

二、IDX系列干泵（爪泵）

愛德華干泵是市場上大型干泵的領(lǐng)導(dǎo)者，同時也早將干泵應(yīng)用惡劣環(huán)境。IDX系列干泵抽速1000-1300m3／h，極限真空10-2mbar

三、機械泵（油封旋片泵）

EDWARDS推出世界臺雙模式RV系列真空泵。其獨特的雙模式方式使該泵性能獨特，真空高，泵體緊湊，噪音低。 RV系列泵的真空范圍從大氣壓到約0.002mbar。抽氣率3-12 m3／h； EM系列真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊、噪音小、低功耗、低工作溫度的特點。抽氣率0.6-275m3／h，極限真空0.002mbar

四、分子泵

英國愛德華E2M80真空泵維修要注意哪些問題點：

  愛德華真空泵屬于機械旋片式真空泵，在使用一定的時間后，會出現(xiàn)機械老

化，配件磨損或者損壞等，這就需要我們做維修，更換相應(yīng)的配件，在維修當(dāng)

中，我們要注意哪些問題點？

1,漏油

愛德華真空泵漏油,主要是在三個位置,油窗,密封套件,軸承軸封,原因是因為密封件

老化引起的,更換相應(yīng)的配件就可以解決.維修后記得清洗油箱,然后再注入愛德華

真空泵油.

2,真空度達(dá)不到要求

先檢查真空泵的氣密性,檢查是否漏氣,其次打開氣鎮(zhèn)閥,讓真空泵運轉(zhuǎn)30分鐘,抽干

真空泵里面的壓縮蒸汽,排除壓縮蒸汽對真空泵的影響.通過以上方法如果不能達(dá)到

理想的真空壓力,就要注意以下：真空泵油是否污染，產(chǎn)生淤泥，油管是否堵塞，

過濾器是否變形，葉片是否磨損，變形，排氣閥是否變形等，對真空泵泵體做一

個全面的檢查，用檢測儀器檢測，看看是否變形，磨損等，如有磨損，就得更換

相應(yīng)的配件。

金屬電鍍

如今的某些 制程使用金屬有機前體物，當(dāng)這些金屬有機前體物通過艙室時， 它們會產(chǎn)生一些副產(chǎn)品，極有可能將其金屬物沉積 到泵表面上。對于這些應(yīng)用，通常使用低溫泵以便確保 長的維修間隔。

氣體減排選擇

每個 CVD 制程都需要某種形式的氣體減排 設(shè)備，以便可以將有毒和危險的制程副產(chǎn)品安全地 轉(zhuǎn)換為可任意處理的元素。我們對我們的燃料燃燒 廢氣管理設(shè)備倍感驕傲，因為它們能夠有效地 將副產(chǎn)品強制重組為安全的化合物。有了多入口 燃料燃燒能力，當(dāng)您不需要對制程廢氣進行除害處理時， 您可以通過關(guān)閉主燃燒器來快速部署環(huán)保模式。

集成式系統(tǒng)和生產(chǎn)層解決方案

僅僅有泵和氣體減排設(shè)備，您 仍然不能隨時運轉(zhuǎn)您的制程。您將需要連接泵排氣管道、 連接管道加熱器（如果需要）、鋪設(shè)供水管道、吹掃管道和 電氣線路，然后讓所有控制信號準(zhǔn)備就緒。您還 必須考慮雙殼體、氣體泄漏檢測以及在進行工具維護后 如何進行泄漏檢查。所有這些事宜都將占用您的 設(shè)計時間和資金。我們了解問題所在，因此開發(fā)了集成的、 特定于制程的解決方案。

我們的集成式系統(tǒng)已針對大多數(shù)半導(dǎo)體 CVD 制程進行預(yù)設(shè)計。排氣加熱器針對適當(dāng)溫度 進行設(shè)置以便大程度地降低成本和延長正常運行時間。我們 在需要的位置安裝泄漏檢查端口和閘閥。我們可以 在裝置內(nèi)安裝有毒氣體傳感器并密封整個系統(tǒng)，最 重要的是，您只需要提供每種所需的水電設(shè)施。我們 會根據(jù)需要分配吹掃、水、電和控制信號并打造隨時可 投入使用的系統(tǒng)。

現(xiàn)場服務(wù)與真空泵維護您需要持續(xù)改善設(shè)備的正常運行時間 并降低現(xiàn)場管理成本。您是否考慮過 讓我們的技術(shù)人員常駐或訪問您的現(xiàn)場并與您開展合作？

我們的現(xiàn)場服務(wù)技術(shù)人員具備數(shù)千工時的 經(jīng)驗，并且參與我們不斷進行的培訓(xùn)和認(rèn)證 計劃，因此您知道，他們始終是您設(shè)備方面的專家。無論 您需要什么樣的支持，我們都能幫助您讓設(shè)備在您的應(yīng)用 中發(fā)揮佳性能。

摘要：設(shè)備安裝與 試運轉(zhuǎn)設(shè)備監(jiān)控和 預(yù)防性維護設(shè)備維修與升級備件和附件產(chǎn)品培訓(xùn)和建議可提高性能和 效率的升級物流管理，可 簡化供應(yīng)鏈緊急熱線和服務(wù) 支持 - 包括正常工作時間外的支持服務(wù)