影響無(wú)塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無(wú)塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于無(wú)塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。

   簡(jiǎn)易無(wú)塵室是一種可提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。簡(jiǎn)易無(wú)塵室主要由箱體、風(fēng)機(jī)、初效空氣過(guò)濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。

   產(chǎn)品配制

   1.框架：以工業(yè)鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通噴塑）作為框架穩(wěn)固、美觀、不生銹、不產(chǎn)塵；

   2.防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化；

   3.風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU：，采用離心風(fēng)機(jī)，內(nèi)部?jī)艋?jí)別可達(dá)100-100K級(jí)；

   4.內(nèi)部采用凈化室凈化燈，不產(chǎn)塵；

    對(duì)于穿著的潔凈服，建議每周更換一到兩次，或者只要衣服一臟就立即更換。各家公司在這個(gè)程序上的規(guī)定也不一樣。必須時(shí)刻遵守著裝程序。衣服不得與地板接觸。與地板接觸會(huì)污染衣服。如果需要戴手套，必須使用潔凈室的無(wú)粉乳膠手套或者膠手套。因?yàn)橛械娜藢?duì)乳膠中的蛋白質(zhì)過(guò)敏，如果因使用了無(wú)粉乳膠手套而造成手部出現(xiàn)紅點(diǎn)，建議改用膠手套。一旦手套褪色或者有破洞必須馬上更換，但不能在潔凈室里更換，只能在更衣室里更換手套。室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套，應(yīng)該慢慢地把手套從手上退下來(lái)。