電子束原理介紹

其實(shí)，增速器離人們的生活并不遠(yuǎn)?，F(xiàn)代生活中已經(jīng)普及的電視、計(jì)算機(jī)顯示器所用的顯像管就是一臺(tái)小小的電子增速器。顯像管有玻璃密封外殼，內(nèi)部抽成真空。由一端的電子槍產(chǎn)生的電子束（強(qiáng)度受影像訊號(hào)控制）經(jīng)過(guò)聚焦線圈聚焦后在高壓電極的作用下加速向前運(yùn)動(dòng)。設(shè)備性能技術(shù)指標(biāo)：1、設(shè)備極限真空度：5×10-5Pa（電子槍靜止?fàn)顟B(tài)）。與此同時(shí)，電子束在偏轉(zhuǎn)電極的作用下，自上而下作水平方向的掃描。這樣，在顯像管另一端的熒光屏上就形成了明暗程度不同的亮點(diǎn)。

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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)

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1、樣品臺(tái)：水冷樣品座，樣品座高度可調(diào)，便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍：樣品臺(tái)與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.

2、電子槍：電子槍功率6kW可調(diào)（滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā)）4穴水冷坩堝（適用于對(duì)多種材料進(jìn)行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應(yīng)用效果好）。為保持E型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性，配制高品質(zhì)束流掃描控制器，具有多種供控制程序進(jìn)行選擇的預(yù)設(shè)模式，方便于操作、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累。電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的用途電子束蒸發(fā)沉積鍍膜設(shè)備，具有有機(jī)材料沉積和金屬材料沉積成膜功能。配套相應(yīng)蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯,以適應(yīng)不同材料,確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性,重復(fù)性.

電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備簡(jiǎn)介

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高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備采用完全封閉的系統(tǒng)框架，結(jié)構(gòu)緊湊，外觀更漂亮，使用更安全。6-10KW e型電子槍可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口，可選配離子束清洗及輔助鍍膜功能。顯像管中的電子槍對(duì)應(yīng)于增速器的電子槍或離子源，顯像管中加速電子用的高壓電極對(duì)應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物（ITO等氧化物）/導(dǎo)電薄膜/光學(xué)薄膜等。

雙槍電子束鍍膜機(jī)介紹

電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用較多的一種蒸發(fā)方式，它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料，它的工作方式是：將鍍膜材料放在坩堝里面，將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀，采用一專門的控制柜，對(duì)燈絲加一強(qiáng)電流，高電壓，由于燈絲的材料是鎢，所以它會(huì)發(fā)熱，然后會(huì)發(fā)射電子，再采用一定的磁場(chǎng)將其聚集成一定形狀，并牽引到坩堝上，這樣就形成了一股電子束，由于電子束溫度非常高，可以熔化任何鍍膜藥材，當(dāng)鍍膜藥材被電子束熔化后（有些材料是直接升華），藥材的分子（原子或者離子）在真空中成直線運(yùn)動(dòng)，然后遇到基板，就凝結(jié)下來(lái)，經(jīng)過(guò)這種方式生長(zhǎng)，形成薄膜！系統(tǒng)組成:系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。

常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成270度，、或者運(yùn)行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角180度，運(yùn)行軌跡為c型的c型電子槍兩種。

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