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然后將這些物質(zhì)加熱到硅的熔點(diǎn)——攝氏1420度之上。一旦多晶硅和摻雜劑混合物熔解,便將單晶硅種子放在熔解物的上面,只接觸表面。種子與要求的成品硅錠有相同的晶向。為了使摻雜均勻,子晶和用來熔化硅的坩堝要以相反的方向旋轉(zhuǎn)。
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雙面拋光以外,拋光將使晶圓片的一面象鏡面一樣。拋光面用來生產(chǎn)電路,這面必須沒有任何突起、微紋、劃痕和殘留損傷。