靜音真空泵維修離子鍍膜技術(shù)

PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù)，其具體原理是在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù)，利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離，利用電場(chǎng)的加速作用，使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。

PVD鍍膜膜層的特點(diǎn),采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層，具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系數(shù))、很好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點(diǎn)，膜層的壽命更長(zhǎng);同時(shí)膜層能夠大幅度提高工件的外觀裝飾性能。

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PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè),PVD鍍膜技術(shù)的應(yīng)用主要分為兩大類：裝飾鍍膜和工具鍍膜。裝飾鍍的目的主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤同時(shí)使工件更耐磨耐腐蝕延長(zhǎng)其使用壽命;這方面主要應(yīng)用五金行業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域，如門窗五金、鎖具、衛(wèi)浴五金等行業(yè)。

工具鍍的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系數(shù)，提高工件的使用壽命;這方面主要應(yīng)用在各種刀剪、車削刀具(如車刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產(chǎn)品中。

東莞捷誠(chéng)精密機(jī)械設(shè)備有限公司專注真空設(shè)備，對(duì)于真空泵維修，真空泵保養(yǎng)，進(jìn)口真空泵維修保養(yǎng)方面經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)可靠、能迅速的為您解決各類技術(shù)問(wèn)題。

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靜音真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用

近些年北京大學(xué)和科學(xué)院北京真空物理實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)研究有機(jī)復(fù)合薄膜的超高密度信息存儲(chǔ)器件，其制備的關(guān)鍵技術(shù)是納米厚度的高質(zhì)量功能薄膜。當(dāng)今的薄膜形成過(guò)程中能夠保持真空純潔環(huán)境，故可以得到高質(zhì)量的薄膜。物理氣相沉積（PVD）技術(shù)主要有蒸發(fā)、濺射鍍、離子鍍、分束外延和離子團(tuán)束鍍等。

在分析了真空方法制備有機(jī)功能薄膜的幾種技術(shù)后，經(jīng)比較認(rèn)為，離子團(tuán)束（ICB）沉積技術(shù)用于制備有機(jī)功能薄膜是適用的。它是將材料蒸發(fā)經(jīng)過(guò)絕熱膨脹過(guò)程，電離過(guò)程形成荷電原子團(tuán)，經(jīng)歷加速被沉積到基底上。原子在基底表面具有較大的遷移率，這有利于薄膜的成核和晶粒生長(zhǎng)，形成高質(zhì)量的薄膜，通過(guò)控制絕熱過(guò)程，電離電壓，加速電壓和基底溫度可以制成晶體、多晶或無(wú)定形薄膜。

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輔助抽氣系統(tǒng)：

排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵 機(jī)械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

排氣流程為：

    機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。

機(jī)械泵：也叫前級(jí)泵，機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

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