無塵凈化廠房是以具有潔凈室和潔凈區(qū)作為重要標志的生產(chǎn)廠房。根據(jù)《潔凈廠房沒計規(guī)范》GB50073中定義：潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間；潔凈區(qū)是指空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。根據(jù)多年經(jīng)驗各種不同的加濕器的應(yīng)用范圍不同：如：淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器，其特點是加濕量大、投資費用低，而相對濕度控制精度較差，因此多用于相對濕度要求不嚴格（>。潔凈室和潔凈區(qū)的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)或區(qū)域空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。

    潔凈區(qū)可以是開放式也可以是封閉式。潔凈室的分類方法很多，但的是按潔凈室的氣流流型和潔凈室的使用性質(zhì)來進行分類。

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同，它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。凈化設(shè)備主要有凈化工作臺、自凈器、高效過濾器、通風柜、生物安全柜、各種風淋室和潔凈傳遞窗等。導(dǎo)體器件廠房內(nèi)，在硅襯底上只要落有電路線寬1/10～1/3大小的塵埃，就可能導(dǎo)致芯片電路短路。如今，半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展突飛猛進，近英特爾公司更是推出了采用32

nm線寬的處理器芯片，把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外，還對溫度、濕度、震動、噪音等都有不同程度要求。

 同時，由于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝的特點，要求潔凈廠房內(nèi)全天（24h)保持相應(yīng)的潔凈度，目此，潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應(yīng)的輸送系統(tǒng)需每天24

h運行，這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運行時間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。

凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。進度的計劃值和實際值的比較應(yīng)是定量的數(shù)據(jù)比較，比較的成果是進度跟蹤和控制報告如編制進度控制的旬、月、季、半年和年度報告等。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車間無塵是必然的要求。

　　每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高，這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。但是，對潔凈室潔凈工程中的氣流速度也是有要求，和單純空調(diào)房間相比，送風口的出口處氣流不要太大。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。