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真空泵的發(fā)展從十七、十八世紀(jì)迄今已經(jīng)歷了三個(gè)多世紀(jì)漫長(zhǎng)的歷史過程。從原始的水泵開始發(fā)展成為現(xiàn)有的機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、分子泵、低溫泵、離子戮射泵、升華泵等數(shù)十種。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。
由于水環(huán)式真空泵中氣體壓縮是等溫的,故可以抽除易i燃、易i爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面,故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn),盡管它效率低,仍然得到了廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易1燃、易1爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響,若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
在水環(huán)真空泵發(fā)展這么多年的時(shí)間里,要以設(shè)備應(yīng)用情況的有效發(fā)展,來增強(qiáng)其整體應(yīng)用能力的不斷提升,其品質(zhì)及性能的不斷發(fā)展,有效的促進(jìn)了產(chǎn)品實(shí)力的開拓優(yōu)勢(shì)。當(dāng)使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時(shí),需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足工藝要求。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。
真空是指在給定的空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)或稀薄的氣體狀態(tài),可分為低真空、中真空、高真空、極高真空。真空泵是使用廣泛的真空獲得設(shè)備。不管是水環(huán)真空泵,還是其他應(yīng)用設(shè)備,其安全可靠的性能都是提高生產(chǎn)效率的關(guān)鍵,在充分做好產(chǎn)品利用能力的同時(shí),要根據(jù)其實(shí)際的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和不斷開發(fā)的產(chǎn)品實(shí)力,以較高的發(fā)展優(yōu)勢(shì),體現(xiàn)出產(chǎn)品的應(yīng)用價(jià)值。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)式真空泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)式真空泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易i燃、易i爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。