光波超精密——光柵氣浮導(dǎo)軌廠家

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺(tái)導(dǎo)軌面變形較小，可以達(dá)到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機(jī)床和測(cè)量?jī)x器等設(shè)備的長(zhǎng)導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負(fù)荷變化小的場(chǎng)合。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺(tái)重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時(shí)，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(dòng)(動(dòng)壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動(dòng)導(dǎo)軌，因滾動(dòng)體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項(xiàng)精度指標(biāo)中比較重要的兩項(xiàng)。

超精機(jī)靜壓氣浮導(dǎo)軌是由高精度的靜導(dǎo)軌、動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮軸承等部件組成。為防止微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)對(duì)氣浮支座造成破壞，應(yīng)將減阻微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在2毫米的氣孔直徑范圍內(nèi)，不應(yīng)小于116-191。高速高壓氣浮軸承在導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)時(shí)，在動(dòng)靜壓導(dǎo)軌之間排放有氣浮軸承，氣體流動(dòng)形成潤(rùn)滑膜，使動(dòng)靜壓導(dǎo)軌表面不直接接觸。氣浮導(dǎo)軌與液壓導(dǎo)軌相比，具有摩擦阻力小、不粘滯、運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)，在超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等高精密儀器設(shè)備中有著廣泛的應(yīng)用。當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動(dòng)導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時(shí)，由于空氣移動(dòng)的粘度、動(dòng)導(dǎo)軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動(dòng)導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——光柵氣浮導(dǎo)軌廠家

由于氣浮軸承將氣體排入導(dǎo)軌間隙，使其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測(cè)量?jī)x測(cè)量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度和速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌明顯具有摩擦阻力小、無(wú)粘滯、運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)，而在超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等高精密儀器設(shè)備中，已廣泛應(yīng)用。氣體軸承的性能要求：承載能力，承載剛性(承載力變化時(shí)承載力每改變一微米)，氣體消耗，抗氣振能力。

當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動(dòng)導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時(shí)，由于空氣移動(dòng)的粘度、動(dòng)導(dǎo)軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動(dòng)導(dǎo)軌的速度正相關(guān)?；鶞?zhǔn)修正精度永不損失，導(dǎo)軌不用人為修正，補(bǔ)償，高頻雜波信號(hào)干擾測(cè)量精度高。進(jìn)入導(dǎo)軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測(cè)量?jī)x測(cè)量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度和運(yùn)動(dòng)速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌的摩擦力將對(duì)超精密機(jī)床的定位精度、系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度產(chǎn)生不可忽視的影響3'。對(duì)超精密機(jī)床的定位精度和運(yùn)動(dòng)速度進(jìn)行研究，已成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn)[4-6]。

氣浮導(dǎo)軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預(yù)載荷型。

平面封閉型 重力平衡型 真空預(yù)載荷型 圓筒封閉型

(1)平面封閉型：在氣浮方向上設(shè)計(jì)一對(duì)方向相對(duì)的兩個(gè)氣膜，形成氣膜預(yù)加載。適用于高精度、高剛度、大負(fù)載的導(dǎo)軌。因?yàn)楸卷?xiàng)目需要高剛度、高精度的技術(shù)要求，所以選用平面封閉型

(2)重力平衡型：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工方便，但剛度低，用于負(fù)載變動(dòng)較小的場(chǎng)合；

(3)真空預(yù)載荷型：用壓力氣體產(chǎn)生浮力，形成懸浮狀態(tài)，用真空發(fā)生裝置產(chǎn)生真空以提高剛度，由于真空的吸附作用，使得這種止推導(dǎo)軌具有雙向的剛度，配上x、y兩向驅(qū)動(dòng)，可用單層結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)二維運(yùn)動(dòng)，即開始結(jié)構(gòu)具有閉式特點(diǎn)，提高了工作臺(tái)的工藝性能；

（4)圓筒封閉型：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但加工復(fù)雜，圓柱形導(dǎo)軌得圓柱度和溜板的間隙由機(jī)械加工決定，對(duì)加工工藝要求較高。而承載能力較小，剛度差，常用于輕載。

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過(guò)節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負(fù)載實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。

應(yīng)用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測(cè)量及實(shí)驗(yàn)室測(cè)量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損，因此不存在售后問(wèn)題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

制作精良的石料構(gòu)件，也干了不少導(dǎo)軌。但是多為氣浮導(dǎo)軌，靜壓導(dǎo)軌較少。組裝前，精度一般能達(dá)到3、5微米左右，因?yàn)榧虞d后精度肯定會(huì)發(fā)生變化。光波超精密技術(shù)研究院——光柵氣浮導(dǎo)軌廠家設(shè)備基本配置：裝置主要由高精度花崗石導(dǎo)軌組系統(tǒng)、精密氣浮工作臺(tái)系統(tǒng)、移動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、長(zhǎng)導(dǎo)軌電、氣傳輸隨動(dòng)系統(tǒng)、CCD影像系統(tǒng)、溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。加工后再組裝研配，直線度可達(dá)到1微米以內(nèi)，扭曲度可達(dá)到1微米以內(nèi)，平行度可達(dá)到1微米以內(nèi)。刮除時(shí)不能破壞產(chǎn)品的度。

可調(diào)性是直線滑動(dòng)導(dǎo)軌特有的優(yōu)點(diǎn)。依據(jù)導(dǎo)軌的使用情況，直線滑行導(dǎo)軌系統(tǒng)都將配備可調(diào)邊，有一個(gè)或多個(gè)。因?yàn)檫\(yùn)動(dòng)部件要沿直線導(dǎo)軌的側(cè)向運(yùn)動(dòng)，必須保證運(yùn)動(dòng)部件與導(dǎo)軌的側(cè)向緊密接觸，所以導(dǎo)軌要有可調(diào)節(jié)功能。