光波超精密技術(shù)研究院——單軸三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌氣膜的厚度大于兩個(gè)摩擦面的幾何不規(guī)則度，在氣膜中形成純流體摩擦其摩擦阻力完全為氣體的粘性所致.由于氣浮導(dǎo)軌無(wú)固體摩擦，因而具有可靠、長(zhǎng)壽命、以及摩擦系數(shù)極i小等特點(diǎn)，其傳動(dòng)效率i高，速度適應(yīng)性好，且由于氣體的可壓縮性和流動(dòng)性，因而具有誤差均化作用，能保持一定的精度.氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣腔內(nèi)壓力分布及承載面積與氣腔內(nèi)壓力有關(guān)。氣浮滑動(dòng)工作臺(tái)上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學(xué)附件及標(biāo)準(zhǔn)裝置。

測(cè)量機(jī)的氣浮導(dǎo)軌(氣墊)按其作用可分為承載式氣墊、導(dǎo)向式氣墊和壓向式氣墊.圖3為 X向?qū)к墯鈮|分布(俯視圖). X向?qū)к墴o(wú)驅(qū)動(dòng)側(cè)有4個(gè)氣墊，上下各2個(gè).驅(qū)動(dòng)側(cè)有6個(gè)氣墊，其中①、②、③是承載式氣墊，依靠它們來(lái)承受整個(gè)移動(dòng)橋的重量，并保持一定的工作間隙.當(dāng)移動(dòng)橋沿 X向移動(dòng)時(shí)，它們使橋框平行于 XY平面運(yùn)動(dòng)，即限制了 Z向直線運(yùn)動(dòng)和繞 X、 Y軸轉(zhuǎn)動(dòng).④、⑤是引導(dǎo)式氣墊，限制了橋框繞 Z軸的直線度運(yùn)動(dòng)誤差和旋轉(zhuǎn).⑥是預(yù)緊性氣墊，使氣墊④、⑤在導(dǎo)軌間有一定的預(yù)緊力.

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——單軸三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

直線氣浮導(dǎo)軌提供了一種非接觸式空氣軸承，可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承式滑動(dòng)。由于采用了一體化的系統(tǒng)封裝，線性空氣滑軌由鋁多孔碳軸承(“平臺(tái)”)和精密鋁導(dǎo)軌組成。

線型氣動(dòng)滑塊具有已獲專利的氣動(dòng)軸承設(shè)計(jì)，即多孔介質(zhì)技術(shù)?，可以通過(guò)在軸承表面形成薄而堅(jiān)硬的氣層來(lái)消除摩擦。碳素的自然滲透能力保證了空氣的均勻流動(dòng)。這一獨(dú)特的設(shè)計(jì)提高了精度和操作效率，并在氣源失靈時(shí)提供了堅(jiān)固、抗碰撞的設(shè)計(jì)。

光波超精密——單軸三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

獨(dú)立的具有隔、防震功能的整體加強(qiáng)的鋼骨水泥及鋪設(shè)底沙基的設(shè)備支承基礎(chǔ)（建議的結(jié)構(gòu)形式）。

地基振幅要求：8 微米，（0～6）Hz；3 微米，（6～50）Hz；8 微米，大于 50Hz。

設(shè)備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求：≤2 mm。

地基的實(shí)施結(jié)構(gòu)形式：由建筑設(shè)計(jì)人員根據(jù)精密導(dǎo)軌所在設(shè)備安裝的地質(zhì)條件及必需保持的穩(wěn)定性精度的要求進(jìn)行設(shè)計(jì)和建造。

注意：如果您的測(cè)量設(shè)備周圍有大的震源，請(qǐng)根據(jù)地基圖紙準(zhǔn)備地基。震源指所有可能對(duì)地基產(chǎn)生振動(dòng)的影響源，含大的加工機(jī)床，磨床，沖床，交通要道等。

氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無(wú)污染等特點(diǎn)。同時(shí)還具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造精度來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。

氣浮導(dǎo)軌基于氣體動(dòng)靜壓效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)。光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——單軸三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌采用直線導(dǎo)軌的滑塊上安裝的油嘴，可直接用注油槍注入油脂，也可將專用油管接頭與供油機(jī)的供油油管連接，進(jìn)行主動(dòng)潤(rùn)滑。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無(wú)污染等特點(diǎn)。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。通常與伺服驅(qū)動(dòng)，傳感器組成閉環(huán)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用

超精密工作臺(tái)常用導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓導(dǎo)軌等，滾動(dòng)導(dǎo)軌的應(yīng)用己經(jīng)有好多年，滾動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到微米級(jí)，摩擦因數(shù)可以降低到0.002至0.003。當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低總之，開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是滾動(dòng)摩擦阻力小，沒(méi)有滑動(dòng)導(dǎo)軌的爬行、浮動(dòng)現(xiàn)象，但滾動(dòng)導(dǎo)軌的摩擦大、抗震性差、運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)、壽命低，在應(yīng)用方面有所欠缺。

靜力學(xué)：承受不大于額定載荷時(shí)，有足夠的強(qiáng)度及硬度，并確保在負(fù)載運(yùn)動(dòng)中自身磨損和變形不超過(guò)設(shè)計(jì)極限。

運(yùn)動(dòng)學(xué)：約束不大于額定負(fù)載，沿方向運(yùn)動(dòng)，并確保運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，與負(fù)載任意配合面間的運(yùn)動(dòng)間隙不變。