芯片檢測(cè)顯微鏡的應(yīng)用特點(diǎn)

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集成電路在研制、生產(chǎn)和使用過(guò)程中失效不可避免，隨著人們對(duì)芯片產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性要求的不斷提高，失效分析工作也顯得越來(lái)越重要，通過(guò)芯片檢測(cè)顯微鏡對(duì)集成電路失效分析，可以幫助集成電路設(shè)計(jì)人員找到設(shè)計(jì)上的缺陷、工藝參數(shù)的不匹配或設(shè)計(jì)與操作中的不當(dāng)?shù)葐?wèn)題。

芯片檢測(cè)顯微鏡的特點(diǎn)

配有帶屈光補(bǔ)償?shù)睦忡R型雙目鏡筒。能調(diào)節(jié)左右目鏡的屈光度。這種設(shè)計(jì)使得在調(diào)節(jié)瞳距時(shí)，物鏡的齊焦面保持不變，即使更換不同倍率的物鏡，也只需做少量的調(diào)焦。目鏡圈由橡皮制成，以便更舒適的觀察。

高質(zhì)量的多孔轉(zhuǎn)換器內(nèi)部設(shè)有機(jī)械定位。此設(shè)計(jì)使旋轉(zhuǎn)更平滑，也增強(qiáng)了耐用性。同時(shí)，轉(zhuǎn)換器周圈帶有突楞，使得旋轉(zhuǎn)更加方便，無(wú)需觸及物鏡。

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芯片檢測(cè)顯微鏡——機(jī)構(gòu)機(jī)械載物臺(tái)

芯片檢測(cè)顯微鏡的機(jī)械載物臺(tái)可在XY方向進(jìn)行平滑移動(dòng)。由于這種機(jī)構(gòu)是內(nèi)置式設(shè)計(jì)，而不是附加而不是附加的，因而X向?qū)к壊粫?huì)突出載物臺(tái)臺(tái)面，這種設(shè)計(jì)增大了載物臺(tái)上方的空間，使對(duì)標(biāo)本操作變得更方便、快捷，同時(shí)，載物臺(tái)在X軸的移動(dòng)也更加平滑和精密。載物臺(tái)表面光滑，使載玻片能夠更平滑、自如地移動(dòng)。

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