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空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室,并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多,凈化級(jí)別越高)。洗滌衣置放場(chǎng)所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。此型式適用于無塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則:
不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
作業(yè)員進(jìn)入無塵室前,機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理;
進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
通過風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無塵室。
機(jī)器及材料帶進(jìn)無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無塵室。
無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng),在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的??刂茪饬骺煞乐刮⒘W永鄯e,但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。個(gè)人物品,例如煙、錢包、紙巾和紙制品,都要存放在辦公桌或者儲(chǔ)物柜里,不能把它們帶進(jìn)潔凈室。而對(duì)于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進(jìn)行除電。