基本原理是在500℃以上高溫條件下，使石墨中的雜質(zhì)（以硅酸鹽礦物為主）與燒jian，即NaOH起反應(yīng)，生成水溶性反應(yīng)物，用水浸取反應(yīng)物，即可消除掉部分雜質(zhì)，另一部分雜質(zhì)，如鐵的氧化物，堿熔后用HCl中和，生成可溶子水的氯化鐵，用水洗滌即可除去。

上述工藝流程中，NaOH濃度為50%左右，與石墨按1：0.8的比例混合，即生產(chǎn)1 t高碳石墨消耗NaOH0.4t左右。HCl的加入量約為石墨的30%。燃料用煤約為0.6-0.7t。堿熔法所用設(shè)備主要有錨式攪拌機(jī)，熔融爐、螺旋漿攪拌機(jī)、V型洗滌槽等?；厥章?5—90%，投資15—20萬(wàn)元。這種，工藝雖較先進(jìn)，但也存在耗水量大、石墨流失多，生產(chǎn)率較低，耗堿量大，且排放的廢液污染環(huán)境等不足。

石墨陽(yáng)極板與傳統(tǒng)銅電極的設(shè)計(jì)不同。許多模具廠(chǎng)通常在銅電極的粗加工和精加工有不同的預(yù)留量，而石墨電極則使用幾乎相同的預(yù)留量，這減少了CAD/CAM和機(jī)器加工的次數(shù)，單是這個(gè)原因，就足以在很大程度上提高模具型腔的精度。當(dāng)然，模具廠(chǎng)由銅電極轉(zhuǎn)用石墨電極后，首先應(yīng)該清楚的是該如何使用石墨材料以及考慮其他相關(guān)因素。如今部分群基火花機(jī)客戶(hù)采用石墨以電極放電加工，這免除了模具型腔拋光和化學(xué)物品拋光的工序卻仍然能達(dá)到預(yù)期的表面光潔度。

石墨舟推舟系統(tǒng)：石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后，石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出，自動(dòng)門(mén)關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì)，在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào)，再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場(chǎng)的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)，所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的核心部件。 管式PECVD系統(tǒng)：即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。