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1、受潮濕的石墨電極,使用前要烘干。
2、去除備用石墨電極孔上的泡沫塑料保護帽,檢查電極孔內(nèi)螺紋是否完整。
3、用不含油和水的壓縮空氣清理備用石墨電極表面和孔內(nèi)螺紋;避免用鋼絲團或金屬刷砂布清理。
4、將接頭小心地旋入備用石墨電極一端(不建議將接頭直接裝入爐上撤換下來的電極)的電極孔內(nèi),不得碰撞螺紋。
5、將電極吊具(建議采用石墨材質(zhì)的吊具)擰入備用電極另一端的電極孔內(nèi)。
6、起吊電極時,墊松軟物到備用電極裝接頭一端的下面,以防止地面碰損接頭;用吊鉤伸入吊具的吊環(huán)后吊起,吊運電極要平穩(wěn),防止電極由B端松脫或與其它的固定裝置碰撞。
工藝卡點頭部不得有毛刺,工藝卡點尺寸與舟片孔過盈配合,不得脫落,工藝卡點兩頭對稱與舟片。
螺帽、螺母螺紋部分不得有崩角。
各部件在裝配前必須清理和清洗干凈,不得有毛刺、油污、和灰塵等。
裝配前應(yīng)對零、部件的主要配合尺寸,及相關(guān)精度進行復(fù)查
裝配時所有配件必須按圖紙進行裝配,各個配件不得隨意跟換。
螺桿、螺帽和螺母緊固時,嚴禁打擊或使用不合適的旋具和扳手。
必須采用力矩扳手,并按規(guī)定的擰緊力矩緊固。緊固后螺桿、螺母頭部不得損壞。
1>.一般石墨舟在運行 100 至 120 次后就應(yīng)該對石墨舟進行清洗,石墨舟清洗次數(shù)達到后,硅片會發(fā)紅。 這是因為舟上的 SiN 會隨著運行次數(shù)的增加而增加,影響舟的正常使用。
2>.在室溫條件下 (<40°C),將舟放入32升HF酸中,大約高過石墨舟1.5cm左右。
濃度是 10%, 腐蝕時間為 10-12小時。低濃度條件下,腐蝕槽會被產(chǎn)生的 SiN 顆粒污染,因此需要進行定期的過濾維護。 濃度高于 10%會對操作人員造成危險。其他部件應(yīng)該被分開放入腐蝕槽內(nèi)并且不可互相接觸,這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位,這對于石墨連接塊而言更為重要。