石墨舟推舟系統(tǒng)：石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后，石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出，自動門關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì)，在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào)，再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)，所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的核心部件。 管式PECVD系統(tǒng)：即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。

石墨棒功率的調(diào)整方式，建議通過調(diào)整電壓的方式來調(diào)整功率。推薦石墨棒的調(diào)壓方式選擇可控硅調(diào)壓或調(diào)壓器調(diào)壓。一般不采用通過改變周波數(shù)的調(diào)功器的方式來調(diào)整。

一般情況下，石墨棒表面負(fù)荷密度是由爐內(nèi)溫度和石墨棒表面溫度的關(guān)系求得，建議使用石墨棒較大表面負(fù)荷密度1/2-1/3數(shù)值的功率。給石墨棒加的電流量越大，石墨棒的表面溫度越高。建議使用盡量小的表面負(fù)荷密度（功率）。

請注意石墨棒冷端記載的數(shù)值為空氣中1050℃ -50℃范圍測得的電流、電壓，與實(shí)際使用不一定相符。

連續(xù)使用石墨棒時(shí)，希望緩速增加電壓以維持長壽命。

石墨棒盡可能并聯(lián)。如果石墨棒阻值不同，串聯(lián)時(shí)電阻高的石墨棒負(fù)荷集中，導(dǎo)致某一個(gè)石墨棒電阻快速增加，壽命變短。

同時(shí)需加強(qiáng)電阻值的配組，即同一組棒的電阻值盡量接近。一般地，并聯(lián)時(shí)同組棒電阻值偏差在10%—15%以內(nèi)，串聯(lián)時(shí)同組棒電阻值偏差在5%—10%以內(nèi)。爐溫越高，要求的阻值偏差也應(yīng)越小。

對于這樣一家企業(yè)生產(chǎn)的石墨坩堝、熔銅石墨坩堝等等其他石墨坩堝型號，有人會問，這樣的石墨坩堝價(jià)格是不是很高呢？我會告訴你：不，甚至比一些企業(yè)還要便宜的，沒錯(cuò)，這是真的。東莞捷誠石墨坩堝廠生產(chǎn)的石墨坩堝型號全部按照國家規(guī)定的石墨坩堝標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)，因?yàn)闁|莞捷誠坩堝廠能了解客戶的需求，如果達(dá)不到石墨坩堝的標(biāo)準(zhǔn)，可能會使客戶造成巨大損失，就無形當(dāng)中損失了客戶。