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1、主要用于高壓開關中滅弧,在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用??稍诤肆W觠ia速器及避雷器X射線設備中作為氣體的絕緣材料,利用SF6化學穩(wěn)定性好,對設備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),SF6對α-粒子有高度的停止能力,故在放i射化學中也有應用;用硫化氫與無水氫氟酸電解時,以鎳作極,鐵作陰極,溫度為-10~20℃,電壓為7~20V。也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。
2、用作電子設備和雷達波導的氣體絕緣體。
六氟化硫有毒嗎?這是個“美麗的誤會”
六氟化硫有毒嗎?可在核粒子jia速器及避雷器X射線設備中作為氣體的絕緣材料,利用SF6化學穩(wěn)定性好,對設備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),SF6對α-粒子有高度的停止能力,故在放i射化學中也有應用。純凈的六氟化硫是一種惰性氣體,在電弧作用下會分解,當溫度高達4000K以上時,大部分的分解物為硫和氟的單原子。電弧熄滅后,絕大部分的分解產(chǎn)物又重新結合成穩(wěn)定的六氟化硫分子。其中極i少量的分解物,在重新結合的過程中與游離的金屬原子、水和氧發(fā)生化學反應,產(chǎn)生金屬氟化物及氧、硫的氟化物。六氟化硫用于電氣設備內(nèi)時,無論是在故障情況下或是在正常的開斷電弧作用下,可能分解,產(chǎn)生氧、硫的氟化物和金屬氟化物粉末。
經(jīng)驗表明,工作人員在即使是含有非常微量的分解物的環(huán)境中,也會感到刺鼻或不舒服的氣味,對鼻、口及眼等有明顯的刺激。這種反應在有明顯中i毒反應之前的幾秒鐘內(nèi)就會產(chǎn)生。
高純六氟化硫的應用
六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年,國家大力發(fā)展基礎電力行業(yè),給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。
高純六氟化硫(純度在99.99%以上),國內(nèi)需求非常旺盛,而且附加值較高。
高純六氟化硫主要用于半導體工業(yè)中作清洗氣體。
六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一,近年來,各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。
該技術在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時,還顯示出了極i佳的環(huán)保前景,近年來用量有明顯的提高。
據(jù)權i威機構預測,2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場,總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右,
國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條,在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求,半導體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口,這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。六氟化硫防護之工作人員防護措施:在有六氟化硫設備的工作場所,有關人員應該穿著專業(yè)的SF6防護服以及手套和工作鞋。