氦質(zhì)譜檢漏儀

因此所有的真空部件在出廠時(shí)都要測試泄漏率指標(biāo)。通常情況下，真空部件的泄漏檢測都是應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏，檢漏時(shí)構(gòu)造一個(gè)臨時(shí)的密閉空間，利用氦質(zhì)譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點(diǎn)（泄漏指標(biāo)異常處）。氦質(zhì)譜檢漏儀操作簡單，響應(yīng)快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層

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年泄漏率大的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，更是要注意，經(jīng)常校準(zhǔn)。如果發(fā)現(xiàn)異常，要用外置漏孔校準(zhǔn)。注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測，都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達(dá)到30℃，這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。

氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4），易于穿過漏孔。

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