六氟化硫有毒嗎？這是個(gè)“美麗的誤會(huì)”

    六氟化硫有毒嗎？純凈的六氟化硫是一種惰性氣體，在電弧作用下會(huì)分解，當(dāng)溫度高達(dá)4000K以上時(shí)，大部分的分解物為硫和氟的單原子。電弧熄滅后，絕大部分的分解產(chǎn)物又重新結(jié)合成穩(wěn)定的六氟化硫分子。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。其中極i少量的分解物，在重新結(jié)合的過(guò)程中與游離的金屬原子、水和氧發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生金屬氟化物及氧、硫的氟化物。六氟化硫用于電氣設(shè)備內(nèi)時(shí)，無(wú)論是在故障情況下或是在正常的開(kāi)斷電弧作用下，可能分解，產(chǎn)生氧、硫的氟化物和金屬氟化物粉末。

    經(jīng)驗(yàn)表明，工作人員在即使是含有非常微量的分解物的環(huán)境中，也會(huì)感到刺鼻或不舒服的氣味，對(duì)鼻、口及眼等有明顯的刺激。這種反應(yīng)在有明顯中i毒反應(yīng)之前的幾秒鐘內(nèi)就會(huì)產(chǎn)生。

為什么六氟化硫氣體純度不純了？

（1）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體在高溫電弧發(fā)生作用時(shí)而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。

 例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應(yīng)：會(huì)生成氟化亞硫酰、四i氟化硫i酰 、氟化硫i酰等有毒物質(zhì)。

 （2）電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體分解物與水的繼發(fā)性反應(yīng)生成氫i氟酸、二氧化硫、硫酸等

 （3）電器設(shè)備內(nèi)的 SF6氣體及分解物與電極（Cu－W 合金）及金屬材料（AL、Cu）反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體及分解物與電極或其它材料反應(yīng)： ALF3（固態(tài)粉末）ALF3（固態(tài)粉末）CuF2(固態(tài)粉末) 等固態(tài)粉末

 （4）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。六氟化硫氣體中存在的有毒氣體和設(shè)備內(nèi)產(chǎn)生的粉塵，對(duì)人體呼吸系統(tǒng)及粘膜等有一定的危害，一般六氟化硫氣體中i毒后會(huì)出現(xiàn)不同程度的流淚、打噴嚏、流涕，鼻腔咽喉有熱i辣感，發(fā)音嘶啞、咳嗽、頭暈、惡心、胸悶、頸部不適等癥狀。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹(shù)脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)物。

 以上這些六氟化硫氣體高溫分解的產(chǎn)物都會(huì)導(dǎo)致六氟化硫氣體純度不純的問(wèn)題。我們?cè)谶x購(gòu)的時(shí)候首先要避免，找正規(guī)廠家購(gòu)買(mǎi)，并附帶產(chǎn)品檢測(cè)報(bào)告。

六氟化硫防護(hù)之設(shè)備安全防護(hù)措施：

 除了對(duì)人員進(jìn)行保護(hù)，六氟化硫防護(hù)也包含設(shè)備的防護(hù)保養(yǎng)。SF6高壓電氣設(shè)備中的SF6需要定期更換，以免不純的SF6影響工作效率，對(duì)于金屬和絕緣零部件也要定期清洗。然后用P4O10干燥產(chǎn)物氣體，并在室溫下通過(guò)活性炭除去S2F10。當(dāng)然清洗出的吸附劑、金屬粉末需要經(jīng)過(guò)中和處理之后進(jìn)行深埋，不得直接排放到外部環(huán)境中。對(duì)于SF6電氣設(shè)備存在的車(chē)間還應(yīng)定期進(jìn)行檢漏測(cè)試，同時(shí)搞好排風(fēng)換氣系統(tǒng)，保證車(chē)間內(nèi)的環(huán)境安全。