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溫濕度
潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。電子行業(yè)無塵車間的特點電子行業(yè)無塵車間是精密電子產(chǎn)品生產(chǎn)存放的地方,是生產(chǎn)過程中的重要場所。由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別 是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
對于各種凈化設備方面的需求也需要做到以下幾點:
1.工藝設備的設計和排熱措施應密切結合,排熱以發(fā)展水冷為主。
2.對各種凈化單元結構(布置和尺寸)應加以改進,使之向有利于減小體積,提高分配均勻性,而又不增加阻力的方向發(fā)展。
3.在不影響噪聲限度的前提下,提高風機壓頭有利于延長過濾器的使用壽命,此外風機應能夠變速運行?! ?
4.無隔板過濾器和新型空氣分配裝置可構成即節(jié)能又靈活的無塵車間系統(tǒng)。
5.改進排風柜的構造,既便于隨時調(diào)節(jié)風量,又要方便操作。
伴隨著我國經(jīng)濟高速發(fā)展,無塵車間凈化行業(yè)的企業(yè)也如雨后春筍一般迅速的成長起來,正因為無塵車間凈化工程就是環(huán)保行業(yè),所以更加相信該行業(yè)是一個未來行業(yè)發(fā)展的趨勢。
電子行業(yè)無塵車間的結構在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,環(huán)境溫濕度、潔凈度及壓力梯度會對電子產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生較大的影響。因此,電子行業(yè)無塵車間要具備良好的絕熱性與密閉性,這也反應在電子行業(yè)無塵車間的結構上。戴口罩時,應將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時污染芯片。首先,電子行業(yè)無塵車間的結構一定要盡可能的緊密,結構中的間隙會為空氣對流提供便利,影響電子行業(yè)無塵車間內(nèi)的溫度及壓力梯度控制;其次,電子行業(yè)無塵車間的選材和結構要盡可能達到良好的絕熱效果,比如以聚氨酯、鋁蜂窩、聚苯、紙蜂窩等作為夾心層的結構,可以起到很好的絕熱效果。