在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運(yùn)行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運(yùn)行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時會大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù)，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

無油節(jié)能真空泵產(chǎn)品特點(diǎn)

1、結(jié)構(gòu)緊湊合理、體積小、真空度高、噪音低。

2、該泵配合過濾瓶、多聯(lián)過濾器及固相萃取裝置使用，都會達(dá)到理想的抽氣效果。

3、適用于抽吸各種液體和給容器減壓抽真空，新型無油節(jié)能真空泵維修，是實(shí)驗(yàn)室吸液和抽真空的理想負(fù)壓設(shè)備。

4、根據(jù)操作者的需要，可以與溶劑過濾器，固相萃取裝置等設(shè)備相匹配使用。

真空泵分類

滑閥泵： 由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，滑閥泵工作原理但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動噪聲，噴油和漏油，提高滑閥泵長期運(yùn)行的可靠性。真空泵供應(yīng)

直聯(lián)旋片泵

隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立廠。真空泵供應(yīng)