真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。只要水壓不變，泄漏率大小就不會(huì)發(fā)生很大變化，因而可以獲得較為一致的結(jié)果。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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真空設(shè)備檢漏

一個(gè)真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實(shí)的，也是沒有必要的，所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實(shí)際應(yīng)用的具體條件，對(duì)漏率指標(biāo)提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng)，這些漏孔就是允許的。氫氣檢漏儀可以為您帶來傳統(tǒng)檢漏無法滿足的更靈活的檢漏解決方案。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量，稱da允許漏率，簡(jiǎn)稱允許漏率。此值不僅是設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)的一項(xiàng)主要指標(biāo)，也是檢漏的依據(jù)。

如果已知允許的總氣載，而沒有具體指明究竟有多大，那么，在設(shè)計(jì)合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。

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一個(gè)真空系統(tǒng)，經(jīng)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間抽氣之后，仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度，可能的原因有:抽氣情況不良，即抽氣系統(tǒng)本身的問題。放氣，即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源?；竟ぷ髟硎鞘褂脤ｉT開發(fā)的氫氣傳感器，它只對(duì)氫氣有響應(yīng)信號(hào)，而對(duì)其他氣體沒有響應(yīng)，屬于唯1性檢漏性檢漏方法。漏氣，即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問題，即準(zhǔn)確檢出漏孔并加以修補(bǔ)。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位，以便修補(bǔ)堵漏。

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