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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。它由一安裝在可伸縮的纖維桿內(nèi)的高精度位移傳感器構(gòu)成，該傳感器包括兩個(gè)線圈和一個(gè)可移動(dòng)的內(nèi)桿，其工作原理類同于使用LVDT技術(shù)的位移傳感器。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

校驗(yàn)測針要注意的問題：

測針校驗(yàn)后的校正直徑小于名義值，不會(huì)影響三座標(biāo)測量機(jī)的測量精度。重復(fù)進(jìn)行3到4次校正，觀察其校驗(yàn)結(jié)果的重復(fù)數(shù)據(jù)，檢查了測頭、測針、標(biāo)準(zhǔn)球是否安裝牢固，同時(shí)也要檢查機(jī)器的工作狀態(tài)。相反，還會(huì)對觸測和測針的變形起到補(bǔ)償?shù)淖饔?，因?yàn)槲覀冊谟萌鴺?biāo)測量機(jī)測量過程中測量軟件對紅寶石球半徑的修正（把測針紅寶石球中心點(diǎn)的坐標(biāo)換算到觸測點(diǎn)的坐標(biāo)），使用的是校正直徑而不是名義直徑。

為什么使用球桿儀？

作用：機(jī)床精度綜合檢測分析的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

測試原理為：利用機(jī)床的兩軸聯(lián)動(dòng)做圓弧插補(bǔ)，通過分析圓弧的半徑變化和弧線的軌跡特征來判斷機(jī)床的誤差元素。