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氮化硅

氮化硅具有許多與紅寶石類似的特性。

這是一種非常堅(jiān)硬耐磨的陶瓷材料，可加工成球體。也可拋光為光滑的表面光潔度。

氮化硅與鋁之間沒有吸附性，因此不存在紅寶石測球在類似場合所發(fā)生的粘附磨損現(xiàn)象。但氮化硅在鋼材表面掃描時(shí)卻具有很顯著的磨擦磨損特性，因此其應(yīng)用限制在鋁質(zhì)工件上。

應(yīng)用球桿儀分析數(shù)控機(jī)床誤差

為進(jìn)行誤差計(jì)算和補(bǔ)償，必須辨識各個(gè)獨(dú)立的誤差參數(shù)。誤差辨識可采用單向誤差直接測量法或綜合誤差測量參數(shù)辨識方法。球桿儀就是一種綜合誤差參數(shù)測量有效的工具。

干涉測量法說明

通過使用兩束光（通常將一束光分為兩束光），可在其疊加時(shí)形成干涉圖。在實(shí)踐中，機(jī)床幾何尺寸中的很多因素、控制系統(tǒng)及磨損都可能造成測試圓半徑及其形狀偏離設(shè)定圓。由于可見光的波長非常短，兩束光的光路（傳播距離）稍有不同，就能被檢測出來（因?yàn)檫@些差異會在干涉圖上產(chǎn)生明顯的變化）。因此，光學(xué)干涉測量法上百年來一直是一項(xiàng)非常有價(jià)值的測量技術(shù)。隨著激光的發(fā)明，干涉測量法的精度得以改進(jìn)。

球桿儀是由一根軸向可伸縮的桿和兩個(gè)安裝在磁性球座上的的金屬球（球度誤差小于0.05μm）組成。注意觀察校驗(yàn)后測針的直徑（是否與以前同樣配置時(shí)的校驗(yàn)結(jié)果有較大偏差）和校驗(yàn)時(shí)的形狀誤差。兩個(gè)球通過內(nèi)裝強(qiáng)力磁鐵的磁性球座分別與工作臺和主軸端部相聯(lián)。球與磁性球座之間是三點(diǎn)接觸，保證靈活轉(zhuǎn)動(dòng)。可伸縮桿上安裝著可記錄伸長量的位移測量裝置用于測量沿連桿方向的長度變化。