無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求：

　　1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。

　　2、吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0。2m/s。

　　在我國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的

　　垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s

　　水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s

無(wú)塵車(chē)間-潔凈廠(chǎng)房的竣工驗(yàn)收，是在各分部單機(jī)試車(chē)，無(wú)生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車(chē)自檢合格后進(jìn)行。竣工驗(yàn)收的內(nèi)容是對(duì)各分部工程的單機(jī)試車(chē)和無(wú)生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車(chē)的核查，潔凈室(區(qū))性能參數(shù)檢測(cè)和調(diào)試、各分部觀(guān)感質(zhì)量核查，按要求進(jìn)行功能檢測(cè)和調(diào)試。

潔凈廠(chǎng)房竣工驗(yàn)收時(shí)，應(yīng)認(rèn)真檢查竣工驗(yàn)收的資料，一般包括下列文件及記錄：

1 圖紙會(huì)審記錄、設(shè)計(jì)變更通知書(shū)和竣工圖;

2 各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠(chǎng)合格證明及進(jìn)場(chǎng)檢驗(yàn)報(bào)告;

3 各分部工程的單機(jī)設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗(yàn)記錄;

4 各分部單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄;

5 各分部工程、系統(tǒng)無(wú)負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄;

6 各類(lèi)管線(xiàn)試驗(yàn)、檢查記錄;

7 各分部工程的安全設(shè)施的檢驗(yàn)和調(diào)試記錄;

8 各分部工程的質(zhì)量驗(yàn)收記錄。

地面：地面材料多采用聚氨脂涂料、環(huán)氧樹(shù)脂、人造革、水磨石www.qilvc.com，為了有效預(yù)防地面材料發(fā)塵和提高地面材料的使用壽命，可采用防靜電積聚的蠟水打蠟。蠟面用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵或洗地吸干機(jī)進(jìn)行廠(chǎng)房地面清潔。

對(duì)風(fēng)口、縫隙、閥門(mén)、燈具、門(mén)窗、管孔用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵或用無(wú)塵抹布擦拭。

清潔劑的使用要求：潔凈廠(chǎng)房對(duì)濕度要求嚴(yán)格，盡量避免濕洗，必要時(shí)可用中性清潔劑，盡量少用酸性或堿性的清潔劑。清潔劑能消除靜電更隹。