氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測(cè)的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、；

測(cè)試時(shí)，將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位，通過觀察檢漏儀上的漏率顯示來確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統(tǒng)比較龐雜，影響真空的因素多，對(duì)此我們?cè)谠囼?yàn)前，應(yīng)先根據(jù)真空嚴(yán)密性的試驗(yàn)情況、相關(guān)系統(tǒng)及設(shè)備的運(yùn)行情況、機(jī)組的檢修情況等進(jìn)行了解分析，初步判斷真空泄漏可能發(fā)生的設(shè)備或系統(tǒng)管道的位置。然后，在試驗(yàn)過程中先對(duì)重點(diǎn)懷疑泄漏部位進(jìn)行檢查，再對(duì)其他部位按照分系統(tǒng)、分段、逐個(gè)設(shè)備部件進(jìn)行排查。

對(duì)于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。對(duì)于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。