無油真空泵近年來解決了不少科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問題，國內(nèi)很多企業(yè)也啟動(dòng)了基礎(chǔ)、應(yīng)用研究及小規(guī)模的試制無油真空泵的探索，在不同研發(fā)階段上顯示了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的規(guī)劃，如在基礎(chǔ)技術(shù)、激勵(lì)機(jī)制、技術(shù)推廣、市場開拓規(guī)劃的調(diào)整等，這些舉措都為鋪展市場做好了基礎(chǔ)。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕。

無油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動(dòng)等基礎(chǔ)性、共性問題，還使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。同時(shí),與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時(shí)，推開排氣閥排出大氣。在生物制品與半導(dǎo)體行業(yè)中，如果應(yīng)用普通旋片油泵，會(huì)產(chǎn)生有油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題，而無油渦旋真空泵就避免了這些問題的出現(xiàn)。為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子，還要在系統(tǒng)運(yùn)行中，定期清洗除油，增加了成本運(yùn)行。因此，無油渦旋真空泵確實(shí)具有未來深廣的發(fā)展前景，是著重商業(yè)化的對(duì)象。

國內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝和科學(xué)研究與分析測(cè)試行業(yè)迫切需要無油污染的真空環(huán)境，無油真空泵的研發(fā)不僅推動(dòng)了應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的整體素質(zhì)，還為我國其他清潔真空獲得設(shè)備提供了有效地借鑒，帶動(dòng)了整個(gè)真空獲得行業(yè)的創(chuàng)新能力和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。