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潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
人員污染控制不同,潔凈車間有較大的特點就是潔污分流,
人員和物品都是專用通道,避免產(chǎn)生交叉污染。除此之后還要進行吹淋,將附著在人員、物品的污染物排除掉,避免將污染物帶到潔凈區(qū),影響空氣凈化工程的凈化效果。高強度,天花板的承重性能都要比普通的車間的承重性非常強,抗彎抗壓。安裝有過濾的送風設備,送風設備都是選用的材料,美觀漂亮,而且容易清洗。可以過濾掉很多空氣中的雜質(zhì)。地板選材,地板相比普通車間也要講究很多,要選擇防靜電的材質(zhì),還有耐磨損的塑料地板。潔凈車間在工業(yè)生產(chǎn)中可以發(fā)揮出極大的優(yōu)勢,也可以保證空氣的質(zhì)量,從而生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。在建設潔凈車間前,選擇的制造商尤為重要,他們可以針對不同領域進行科學設計,確保滿足整體生產(chǎn)需求。
潔凈車間應用的行業(yè):
1、微電子工業(yè)
微電子工業(yè)是當前對潔凈室要求高工業(yè)潔凈業(yè)。此外,如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn),同樣均有潔凈度的要求。
2、醫(yī)行業(yè)
大家都知道,醫(yī)行業(yè)對于醫(yī)產(chǎn)品以及藥的生產(chǎn)都是有很嚴格的規(guī)范(1)藥品生產(chǎn)我國的《藥品生產(chǎn)管理規(guī)范》(又稱GMP)已在全國范圍內(nèi)實施,對生產(chǎn)環(huán)境提出了相應于工藝過程的不同潔凈級別要求。除了限定空氣中塵埃粒子的大小和含量外,對生物粒子(細菌數(shù))也有明確的限制。藥品是用于預防、治疾病和恢復、調(diào)整機體功能的特殊商品,它的質(zhì)量直接關系到人的健康和安危。如果一些藥品在制造過程中受到微生物、塵粒等污染或交叉污染,可能會產(chǎn)生預料不到的疾病和危害。醫(yī)行業(yè)生產(chǎn)藥類或者是各種設備,都是需要通過潔凈車間來進行加工生產(chǎn),在潔凈的車間內(nèi)進行加工,可以保證整體的空氣潔凈度符合國家的標準。
(2)醫(yī)院白病的治室、燒病房、外手術室,根據(jù)條件用相應的潔凈技術來防止空氣中的細菌感1染,對治起到環(huán)境保障作用。
(3)醫(yī)學科學實驗對于實驗動物的飼養(yǎng)、遺傳工程等學科實驗工程,也應該具備潔凈環(huán)境,才能取得有效的成果。