石英撓性加速度計(jì)結(jié)構(gòu)軛鐵由溫度系數(shù)低，導(dǎo)磁性能好的軟磁材料組成。磁鋼采用導(dǎo)磁性能比較良好的AL-Ni-Co8永磁材料，用無(wú)心磨床加工。撓的材料為溫度性能的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學(xué)腐蝕方法；六軸加速度傳感器它主要由差動(dòng)電容傳感器，檢測(cè)質(zhì)量擺組件，電磁轉(zhuǎn)矩裝置和電子放大器等幾部分組成。也可以采用反應(yīng)離子蝕刻工藝加工整個(gè)撓，但造價(jià)很高，石英撓性加速度計(jì)是根據(jù)慣性原理，通過(guò)石英撓性支撐，加上先進(jìn)的電子技術(shù)構(gòu)成的精密儀表。在力平衡狀態(tài)下，加速度計(jì)的輸出量與輸入加速度準(zhǔn)確成比例，通過(guò)測(cè)量加速度計(jì)的輸出量，可以準(zhǔn)確計(jì)算出輸入的加速度物理量;具有高輸出阻抗的電流輸出形式，用戶可以根據(jù)情況選擇所需要的采樣電阻而不致影響系統(tǒng)穩(wěn)定性。

石英撓性加速度計(jì)是一種力平衡式傳感器，它將輸入加速度轉(zhuǎn)換成其撓性擺片的微小位移，并用反饋力加以平衡。由于采用了力反饋回路，使這種撓性加速度計(jì)具有精度高，抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn)。適合于低頻低g值的加速度測(cè)量，是慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)系統(tǒng)中不可缺少的關(guān)鍵器件之一，石英撓性加速度計(jì)就找航新，為了在保證系統(tǒng)噪聲能力的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的微機(jī)械加速度計(jì)系統(tǒng)，提出了一種多位量化的加速度計(jì)系統(tǒng)。通過(guò)應(yīng)用靜電力反饋線性化電路，實(shí)現(xiàn)了一種四階多位量化微機(jī)械加速度計(jì)結(jié)構(gòu)。廊坊市航新儀器儀表有限公司專業(yè)開發(fā)生產(chǎn)各類專用設(shè)備并自主研發(fā)了石英撓性加速度計(jì)產(chǎn)品。生產(chǎn)設(shè)備如：立式加工中心、數(shù)控車床、數(shù)控銑床、數(shù)控鉆床、普通車床、普通鉆床、普通萬(wàn)通銑床、各類磨床如工具磨床、內(nèi)外圓磨床、平面磨床等，摩擦焊接機(jī)、線切割機(jī)、co2氣體保護(hù)焊機(jī)、剪板機(jī)、折彎?rùn)C(jī)等精密加工設(shè)備。六軸加速度傳感器產(chǎn)品采用獨(dú)特的小型化、耐高溫抗震設(shè)計(jì)、先進(jìn)的封裝工藝及專用電路，產(chǎn)品的輸出電流與輸入加速度成正比，用戶可以通過(guò)計(jì)算選取合適的采樣電阻，達(dá)到高精度的輸出。

石英撓性加速度計(jì)技術(shù)發(fā)展的新方向

平衡式加速度計(jì)在目前慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中的應(yīng)用為廣泛，其中石英撓性加速度計(jì)是具有代表性的一種［４１。它是一種將撓性支承部分和電容傳感器做成一體的機(jī)械擺式 加速度計(jì)，因此六軸加速度傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，精度和靈敏度高、功耗小、重量輕、可靠性高 的優(yōu)點(diǎn)，且易于小型化。近年來(lái)，自動(dòng)駕駛儀、捷聯(lián)式及平臺(tái)式慣性導(dǎo)航系統(tǒng)都將該器件作為優(yōu)選，在航空飛行控制系統(tǒng)、微重力測(cè)量、航天器轉(zhuǎn)軌控制、艦船及戰(zhàn)車等隨 動(dòng)控制領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用。另外，隨著石英撓性加速度計(jì)應(yīng)用技術(shù)的不斷進(jìn)步，民 用方面存在著巨大的潛在需求，近年石英撓性加速度計(jì)在民用領(lǐng)域的應(yīng)用得到了突飛猛 進(jìn)的發(fā)展，尤其是石油勘探領(lǐng)域的需求量不斷增長(zhǎng)，已經(jīng)成功石英撓性加速度計(jì)技 術(shù)發(fā)展的新方向。  廊坊市航新儀表有限公司成立于2006年，其前身華航精密機(jī)械廠隸屬于北華航天工業(yè)學(xué)院，我廠竭誠(chéng)為各界用戶開發(fā)制造各種新型傳感器，六軸加速度傳感器，數(shù)字直讀式伺服加速度測(cè)斜儀可以觀測(cè)土石壩、堤防、巖土邊坡、建筑物基坑、地下建筑工程等土體內(nèi)部的水平數(shù)據(jù)。也可以根據(jù)不同場(chǎng)合的需要對(duì)儀表進(jìn)行改裝設(shè)計(jì)。 我們將以至誠(chéng)至信的服務(wù)態(tài)度和優(yōu)良的六軸加速度傳感器產(chǎn)品品質(zhì)回報(bào)廣大信賴客戶。真誠(chéng)期待與各界朋友的合作！由于具有獨(dú)特的優(yōu)良特性，石英玻璃在軍事應(yīng)用領(lǐng)域一直占有很重要的位置。

?石英撓性加速度計(jì)原理和組成

英撓性加速度計(jì)工作原理 石英撓性加速度計(jì)是測(cè)量沿其輸入軸作用的常值和低頻加速度的工具，測(cè)量值經(jīng)一 次積分和二次積分便可以得到有關(guān)飛彈速度和位置的信息。石英撓性加速度計(jì)是一個(gè)機(jī)電結(jié)合的慣性器件，系統(tǒng)主要由以下幾部分組成： ａ）檢測(cè)質(zhì)量擺組件（其上帶有力矩器線圈），當(dāng)感受到載體加速度時(shí)能產(chǎn)生慣性力； ｂ）電磁力矩器（由磁鋼、上力矩器、下力矩器和粘接在石英擺片上的力矩器線圈 組成）； ｃ）差動(dòng)電容傳感器（由石英擺片的鍍金表面與上、下力矩器端面之間的間隙形成）， 敏感到檢測(cè)質(zhì)量做功時(shí)，其問(wèn)電容值發(fā)生的變化；此外，管芯選型充分考慮了寬溫域要求，采用航晶成熟的耐高溫厚膜工藝，在一個(gè)10。 ｄ）電子放大器。 表頭由整體石英撓性擺組件、差動(dòng)電容傳感器、力矩器、殼體等部分組成，系統(tǒng)組成。