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在光刻膠的生產(chǎn)上,我國主要生產(chǎn)PCB光刻膠,LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小, 2015年據(jù)統(tǒng)計(jì)我國光刻膠產(chǎn)量為9.75萬噸,其中中低端PCB光刻膠產(chǎn)值占比為94.4%,半導(dǎo)體和LCD光刻膠分分別占比1.6%和2.7%,嚴(yán)重依賴進(jìn)口。影響顯影的效果主要因素:1,曝光時(shí)間,2前烘溫度和時(shí)間,3光刻膠膜厚,4顯影液濃度溫度,5顯影液的攪動(dòng)情況。
縱觀全球市場,光刻膠專用化學(xué)品生產(chǎn)壁壘高,國產(chǎn)化需求強(qiáng)烈。 化學(xué)結(jié)構(gòu)特殊、保密性強(qiáng)、用量少、純度要求高、生產(chǎn)工藝復(fù)雜、品質(zhì)要求苛刻,生產(chǎn)、檢測、評價(jià)設(shè)備投資大,技術(shù)需要長期積累。
至今光刻膠專用化學(xué)品仍主要被被日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國杜邦、美國futurrex、德國巴斯夫等化工寡頭壟斷。
光刻膠國內(nèi)的研發(fā)起步較晚
光刻膠的研發(fā),關(guān)鍵在于其成分復(fù)雜、工藝技術(shù)難以掌握。光刻膠主要成分有高分子樹脂、色漿、單體、感光引發(fā)劑、溶劑以及添加劑,開發(fā)所涉及的技術(shù)難題眾多,需從低聚物結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和篩選、合成工藝的確定和優(yōu)化、活性單體的篩選和控制、色漿細(xì)度控制和穩(wěn)定、產(chǎn)品配方設(shè)計(jì)和優(yōu)化、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝優(yōu)化和穩(wěn)定、終使用條件匹配和寬容度調(diào)整等方面進(jìn)行調(diào)整。近年來,盡管光刻膠研發(fā)有了一定突破,但國產(chǎn)光刻膠還是用不起來。因此,要自主研發(fā)生產(chǎn),技術(shù)難度非常之高。
在光刻膠研發(fā)上,我國起步晚,2000年后才開始重視。近幾年,雖說有了快速發(fā)展,但整體還處于起步階段。事實(shí)上,工藝技術(shù)水平與國外企業(yè)有著很大的差距,尤其是材料及設(shè)備都仍依賴進(jìn)口。
光刻膠國際化發(fā)展
業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為,按照現(xiàn)在“單打獨(dú)斗”的研發(fā)路徑,肯定不行。政府相關(guān)部門要加大產(chǎn)業(yè)政策的配套支持力度,應(yīng)從加快完善整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈出發(fā),定向梳理國內(nèi)缺失的、產(chǎn)業(yè)依賴度高的關(guān)鍵核心電子化學(xué)品,要針對電子化學(xué)品開發(fā)難度高,檢測設(shè)備要求高的特點(diǎn),組織匯聚一些優(yōu)勢企業(yè)和專家,形成一個(gè)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟,國家建立一個(gè)生產(chǎn)應(yīng)用示范平臺,集中力量突破一些關(guān)鍵技術(shù)。全球市場目前,光刻膠單一產(chǎn)品市場規(guī)模與海外巨頭公司營收規(guī)模相比較小,光刻膠僅為大型材料廠商的子業(yè)務(wù)。
江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健表示,光刻膠要真正實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化,難度很大。問題是國內(nèi)缺乏生產(chǎn)光刻膠所需的原材料,致使現(xiàn)開發(fā)的產(chǎn)品碳分散工藝不成熟、碳漿材料不配套。而作為生產(chǎn)光刻膠重要的色漿,至今依賴日本。③光交聯(lián)型,采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),而起到抗蝕作用,可以制成負(fù)性光刻膠。前道工藝出了問題,保證不了科研與生產(chǎn),光刻膠國產(chǎn)化就遙遙無期。因此,必須通過科研單位、生產(chǎn)企業(yè)的協(xié)同創(chuàng)新,盡快取得突破。
有專家提出,盡管國產(chǎn)光刻膠在面板一時(shí)用不起來,但政府還是要從政策上鼓勵(lì)國內(nèi)普通面板的生產(chǎn)企業(yè)盡快用起來。只有在應(yīng)用過程中才能發(fā)現(xiàn)問題,解決問題,不斷提升技術(shù)、工藝與產(chǎn)品水平,實(shí)現(xiàn)我國關(guān)鍵電子化學(xué)品材料的國產(chǎn)化,完善我國集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈,滿足國家和重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的需求。目前,整個(gè)產(chǎn)業(yè)是中間加工環(huán)節(jié)強(qiáng),前后兩端弱,核心技術(shù)至今被TOK、JSR、住友化學(xué)、信越化學(xué)等日本企業(yè)所壟斷。