凈化工程之無塵車間的凈化原理

凈化原理1  

氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→高1效1送風口→潔凈室→帶走塵埃（細1菌） → 回風夾道→新風、初效空氣處理。

重復以上過程，即可達到凈化目的。

技術(shù)參數(shù)  

換氣次數(shù)：十萬級10－15次/小時；  

萬級15－25次/小時；  

千級50－52次/小時;  

百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s；  

壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa；  

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；  

相對濕度：45－65％（RH）；  

噪聲≤65dB（A）；  

新風補充量：總送風量的20％－30％；    

照度：≥300Lux。

結(jié)構(gòu)材料  

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。  

2.地面采用環(huán)氧自流平或高1級耐磨塑料潔凈地板。  

3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

傳統(tǒng)凈化工程存在的不足應(yīng)該如何解決

具體解決方案有：

　?。?） 應(yīng)用納米鈦炭網(wǎng)與光觸媒技術(shù)去除有害氣體以及異味。

　　 在凈化系統(tǒng)的送回風管道中（或在靜電凈化柜中）安裝應(yīng)用納米鈦炭濾網(wǎng)，并使用光觸媒技術(shù)，可以非常有效的去除降解有毒有害氣體及氣味。從而解決了潔凈工程不能去除有毒有害氣體及氣味的難題。

　　 （2）采用靜電滅菌凈化柜來殺滅細1菌，消毒并去除飄塵。

　　 靜電滅菌凈化柜的工作原理：靜電滅菌凈化柜中的電場，采用圓孔針狀、蜂巢棒狀的雙區(qū)靜電場；2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級耐磨塑3、送回風管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。雙區(qū)指的是極化區(qū)和極塵區(qū)。當通風管道中送出的空氣在通過雙區(qū)靜電場時，空氣中的細1菌、飄塵等污染物首先被靜電場極化 (即充上負電荷)，因細1菌的胞囊其本身是帶負電荷的，在通過靜電極化區(qū)時被再一次充上很高能量的負電荷。帶負電荷的細1菌、病毒等污染物通過系統(tǒng)進入正電場的集塵區(qū)時，即刻被集塵區(qū)的正集塵板強烈的吸集，在正電極的作用下，要在瞬間快速釋放其胞囊中的負電荷能量時，胞囊即刻被擊碎而，其滅菌率達到99.99%，從而達到滅菌消毒1的目的。同時靜電場對空氣中的飄塵有強烈的吸集與凝并作用，其除塵率達96%。這就有效的保護了高1效過濾膜，增加其使用壽命 2—3倍，而電場用金屬材料制作，可方便的卸下，清洗后反復使用，減少了系統(tǒng)的使用成本。

FFU具有的特點：

第yi，靈活性：因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制，在一個偌大的無塵廠房里可根據(jù)要求，分區(qū)控制，而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

第二，可再利用性，從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三，負壓通風，這是FFU的獨特特點，由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于無塵廠房負壓，這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)內(nèi)，使得密封變得很簡單而且安全。

第四，縮短建設(shè)周期，使用FFU省掉了風箱的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五，減少運行成本，雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但在它后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能，免維護等特點，用大循環(huán)減少40%的運行成本。