光波超精密——閉式圓柱氣動(dòng)直線導(dǎo)軌

根據(jù)檢測(cè)方法的不同，可以對(duì)導(dǎo)軌直線度進(jìn)行分類，對(duì)一般的導(dǎo)軌直線度，通常采用水平儀測(cè)距和橋板測(cè)距兩種方法，根據(jù)得到的一條近似于導(dǎo)軌實(shí)際線的誤差曲線，確定導(dǎo)軌直線度誤差。

但在測(cè)量高精度導(dǎo)軌直線度時(shí)，導(dǎo)軌本身的直線度等級(jí)會(huì)與檢測(cè)工具的直線度等級(jí)達(dá)到一個(gè)數(shù)量級(jí)，此時(shí)使用距法就不能將導(dǎo)軌與工具的直線度誤差分離，這時(shí)就需要一種不使用基準(zhǔn)的高精度測(cè)量方法或技巧來(lái)有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測(cè)誤差分離法”。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——閉式圓柱氣動(dòng)直線導(dǎo)軌

當(dāng)前導(dǎo)軌直線度的常用檢測(cè)方法有：

有基準(zhǔn)測(cè)量：將被測(cè)直線與選定的標(biāo)準(zhǔn)線相比較

無(wú)基準(zhǔn)測(cè)量：在被測(cè)表面上取一定量的測(cè)點(diǎn)，用某種方法處理測(cè)量數(shù)據(jù)

用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的導(dǎo)向裝置有：滑動(dòng)導(dǎo)向裝置、滾動(dòng)導(dǎo)向裝置和氣浮導(dǎo)向裝置。當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來(lái)決定，因此在載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低?；壘雀?，承載能力強(qiáng)，但低速運(yùn)行時(shí)摩擦阻力大，容易產(chǎn)生爬行，也不易在高速下運(yùn)行，有逐漸被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢(shì)?，F(xiàn)在大多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)都采用安氣靜壓導(dǎo)軌，也叫氣浮式導(dǎo)軌，其優(yōu)點(diǎn)是制作簡(jiǎn)單，精度高，摩擦系數(shù)小，工作平穩(wěn)。

開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌，有以下特性：

承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無(wú)法承受反向載荷；(2)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來(lái)決定，因此在載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低。

總之，開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件，除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外，其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——閉式圓柱氣動(dòng)直線導(dǎo)軌

小孔節(jié)流器矩形空氣靜壓導(dǎo)軌采用俯視圖和剖面圖。6℃/m注意:不應(yīng)受到太陽(yáng)照射，不應(yīng)靠近暖氣，不應(yīng)靠近進(jìn)出通道。壓力為導(dǎo)向器工作時(shí)，氣源氣流通過(guò)進(jìn)氣孔受到節(jié)流作用，氣體從進(jìn)氣孔流出后壓力下降，然后進(jìn)入承載氣膜，并向四周擴(kuò)散流動(dòng)，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環(huán)境壓力，在承載板與工作臺(tái)面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場(chǎng)，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環(huán)境大氣作用相差甚遠(yuǎn)，可獲得導(dǎo)軌的承載力。當(dāng)負(fù)荷一定時(shí)，氣動(dòng)靜壓導(dǎo)軌和軌道之間自動(dòng)保持相應(yīng)的氣膜厚度，使承載力和負(fù)荷平衡，終實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)導(dǎo)軌的重量平衡。

按照振動(dòng)激勵(lì)的方式不同，滾柱直線導(dǎo)軌副的振動(dòng)可以分為以下三種情況：1、是來(lái)自導(dǎo)軌內(nèi)部的振動(dòng)，即由于加工產(chǎn)生的加工誤差，比如波紋度，粗糙度，還有一些局部缺陷等。氣浮式導(dǎo)軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測(cè)量和實(shí)驗(yàn)室測(cè)量，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。2、是外部擾動(dòng)，即外部工況不穩(wěn)定，載荷變化較大等。3、是來(lái)自于自身固有的結(jié)構(gòu)屬性，包括在固有頻率處發(fā)生強(qiáng)烈共振，比如滾柱的通過(guò)頻率等。

滾柱直線導(dǎo)軌副雖然結(jié)構(gòu)看起來(lái)簡(jiǎn)單，所包含的零件不多，但由于對(duì)其要求的精度很高，滾柱直線導(dǎo)軌副運(yùn)行后，零件之間的接觸碰撞過(guò)程非常復(fù)雜，這些接觸碰撞將直接影響導(dǎo)軌的振動(dòng)。

直線導(dǎo)軌安裝前的準(zhǔn)備 ，1、機(jī)臺(tái)水平的校正：用兩個(gè)等高量塊和一大理石量尺放在安裝基面上，放上精密的水平儀調(diào)試底座水平。光波超精密氣浮導(dǎo)軌——閉式圓柱氣動(dòng)直線導(dǎo)軌直線氣浮導(dǎo)軌提供了一種非接觸式空氣軸承，可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承式滑動(dòng)。2、安裝的檢查：直線導(dǎo)軌安裝基面的粗糙度、平面度、直線度及外觀的檢查。3、安裝面的倒角處理：直線導(dǎo)軌安裝基面與導(dǎo)軌側(cè)基準(zhǔn)安裝面的倒角處理，倒角半徑，應(yīng)符合直線導(dǎo)軌廠家的要求，若發(fā)現(xiàn)倒角過(guò)大或凸出，應(yīng)及時(shí)采用油石或銼刀處理，否則會(huì)造成導(dǎo)軌精度的安裝不良或者會(huì)干涉滑塊。