光波超精密——閉式圓柱空氣導(dǎo)軌

目前，國內(nèi)外大多數(shù)精密測(cè)量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動(dòng)部件，而以氣動(dòng)靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測(cè)量?jī)x要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此測(cè)試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時(shí)承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺(tái)的移動(dòng)量，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——閉式圓柱空氣導(dǎo)軌

安裝時(shí)，無論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，安裝都比較簡(jiǎn)單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)元件的平穩(wěn)滑動(dòng)。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設(shè)計(jì)，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購時(shí)也要十分注意這一點(diǎn)。

光波超精密技術(shù)研究院——閉式圓柱空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成，每個(gè)承導(dǎo)面至少有兩個(gè)氣浮塊，氣浮塊與承導(dǎo)面間隙中氣體壓力 p的分布狀態(tài)能左右氣浮塊的性能。通過這個(gè)實(shí)驗(yàn)臺(tái)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量得到：供氣量一定時(shí)，氣浮塊所受負(fù)荷增大，氣浮厚度減??；當(dāng)負(fù)荷減少時(shí)，氣浮厚度增大。

高精度工作臺(tái)常用導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等，滾動(dòng)導(dǎo)軌的使用已有多年歷史，滾動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí)，摩擦系數(shù)可降至0.002~0.003。滾動(dòng)式導(dǎo)軌具有滾動(dòng)摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現(xiàn)象，但其摩擦系數(shù)大，抗沖擊性能差，運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，使用壽命低等優(yōu)點(diǎn)，在實(shí)際應(yīng)用中還存在不足。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——閉式圓柱空氣導(dǎo)軌

機(jī)導(dǎo)是傳動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)的基礎(chǔ)，也是傳動(dòng)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一.由于空氣粘性低，不易爬行、振動(dòng)小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)，因此本試驗(yàn)裝置采用空氣靜壓導(dǎo)軌設(shè)計(jì).空氣靜壓導(dǎo)軌是將具有一定壓力的空氣通過節(jié)流器送入導(dǎo)軌間隙，通過靜壓使導(dǎo)軌懸浮起來，在導(dǎo)軌面之間形成一層極薄的氣膜，氣膜厚度基本保持恒定。

氣動(dòng)直線導(dǎo)軌滑臺(tái)，是自動(dòng)化技術(shù)工業(yè)生產(chǎn)行業(yè)廣泛運(yùn)用的直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在數(shù)控車床，自動(dòng)化機(jī)械，智能機(jī)器人行業(yè)運(yùn)用普遍。其一般由步進(jìn)馬達(dá)或伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，根據(jù)高精密滾珠絲桿或同步齒形帶，直線導(dǎo)軌的組成傳動(dòng)系統(tǒng)來完成導(dǎo)軌滑塊的直專線運(yùn)輸挪動(dòng)。工業(yè)生產(chǎn)運(yùn)用中氣動(dòng)直線導(dǎo)軌滑臺(tái)不但必須優(yōu)良的剛度和反復(fù)精密度，其經(jīng)久耐用特性，省勁特點(diǎn)，負(fù)荷工作能力全是在設(shè)計(jì)方案運(yùn)用中主要留意的主要參數(shù)。

由于不同設(shè)備要求的預(yù)壓力也不同，所以當(dāng)預(yù)壓力不同時(shí)，會(huì)產(chǎn)生噪音；所謂的預(yù)壓力，是指直線導(dǎo)軌滑塊翻滾體在軌道上所受的預(yù)緊力，也稱為配合力。線性導(dǎo)軌滑塊的預(yù)壓級(jí)分為輕預(yù)壓級(jí)、中等預(yù)壓級(jí)和超重預(yù)壓級(jí)。在以下條件下選擇不同預(yù)壓方式：     輕預(yù)壓：適合負(fù)載方向必定、轟動(dòng)、沖擊小、并排兩軸使用。精i確度要求不高，單一要求滑動(dòng)阻力小的設(shè)備。例如：射束焊接機(jī)械、裝訂機(jī)械、主動(dòng)包裝機(jī)、XY軸、主動(dòng)門窗加工機(jī)、焊機(jī)等工業(yè)機(jī)械；中預(yù)壓機(jī)：懸臂式或力矩式設(shè)備、單軸式設(shè)備、輕負(fù)荷要求高精度設(shè)備等。例如：磨床工作臺(tái)進(jìn)給軸、主動(dòng)涂裝裝置、工業(yè)機(jī)械手、測(cè)量器、精細(xì)XY通道等；重預(yù)壓：要求高剛度、沖擊力大的設(shè)備、重切削機(jī)床等。如：機(jī)械加工基地、數(shù)控車床、磨床砂輪進(jìn)給軸、刀具導(dǎo)向部等。