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分子真空泵(簡(jiǎn)稱分子泵)是1913年是德國(guó)人蓋得(W.Gaede)首先發(fā)明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎(chǔ)。雖然分子泵是一種機(jī)械泵,但它已經(jīng)擺脫了那種靠容積變化來(lái)抽氣的容積泵原理,而是靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面來(lái)攜帶氣體分子實(shí)現(xiàn)抽氣的一種新型機(jī)械真空泵。通常把高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象成為分子牽引,或稱為氣體的外摩擦輸運(yùn)現(xiàn)象。因此,人們把蓋得發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。這種泵具有啟動(dòng)時(shí)間短,抽重氣體比抽輕氣體快等一系列優(yōu)點(diǎn)。但由于它的密封間隙小,容易引起機(jī)械故障以及加工精度要求高等,除特殊需要外,實(shí)際上很少應(yīng)用,曾有些人做過(guò)不少改進(jìn),出現(xiàn)過(guò)幾種不同類型的牽引分子泵,但因?yàn)槌樗俚蜎](méi)有推廣應(yīng)用,曾一度被結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的擴(kuò)散泵所代替。
根據(jù)以上原則,當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí),可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級(jí)泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦,可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。
如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡(jiǎn)單,容易制造和維護(hù),且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用,則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到自動(dòng)平衡,軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,泵的使用壽命較長(zhǎng)。