如何選擇真空檢漏儀

一．對(duì)檢漏方法的一般要求

1.檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；

2.反應(yīng)時(shí)間短，可以提高工作效率；

3.能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；

4.能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；

5.穩(wěn)定性好，即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；

6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；

7.檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測(cè)到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用；

8.檢漏時(shí)潔凈無油，滿足一些特殊的要求

二．選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則

1.主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個(gè)單個(gè)漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W；

2.根據(jù)具體被檢對(duì)象，所用方法簡(jiǎn)便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

待機(jī)時(shí)電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當(dāng)出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導(dǎo)致大量的氣體突然進(jìn)入電離室，真空度≥1x10-1Pa時(shí)，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲壽命如何延長(zhǎng)？有前面分析已知，造成氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對(duì)燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長(zhǎng)氦質(zhì)譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測(cè)量方法滿足多種需求

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。秀長(zhǎng)的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場(chǎng)和全自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：

1.檢測(cè)時(shí)間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以內(nèi)；

2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護(hù)模式，充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測(cè)功能：可通過預(yù)設(shè)壓力，抽空時(shí)，達(dá)不到預(yù)設(shè)值，檢漏儀自動(dòng)報(bào)警提示。

5.多種計(jì)量單位選擇，檢測(cè)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)更新，直接輸出生成Excel表格。

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真空法氦質(zhì)譜檢漏原理

真空法氦質(zhì)譜檢漏原理：

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的定位； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。

真空法檢漏有何優(yōu)點(diǎn)：真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以定位漏孔，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法檢漏缺點(diǎn)：真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能真實(shí)反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

用途：真空法的檢測(cè)主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

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