等離子干法刻蝕技術(shù)是利用等離子體進(jìn)行薄膜微細(xì)加工的技術(shù)。在典型的干法刻蝕工藝過程中，一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中，在外部能量作用下（如射頻、微波等）形成等離子體，干法刻蝕技術(shù)由于具有良好的各向異性和工藝可控性已被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)品制造領(lǐng)域，憑借在等離子體控制、反應(yīng)腔室設(shè)計、刻蝕工藝技術(shù)、軟件技術(shù)的積累與創(chuàng)新，北方華創(chuàng)微電子在集成電路、半導(dǎo)體照明、微機電系統(tǒng)、先進(jìn)封裝、功率半導(dǎo)體等領(lǐng)域可提供高端裝備及工藝解決方案。形成了對硅、介質(zhì)、化合物半導(dǎo)體、金屬等多種材料的刻蝕能力，其中應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的硅刻蝕機已突破14nm技術(shù)，進(jìn)入主流芯片代工廠，其余各類產(chǎn)品也憑借其優(yōu)異的工藝性能成為了客戶的。

金屬腐蝕前處理工藝主要有：感光蝕刻、絲網(wǎng)印刷、貼不干膠，每種工藝都有自己的優(yōu)點和缺點，蝕刻加工廠家可根據(jù)自己產(chǎn)品的實際要求，選擇相對應(yīng)的工藝。下面我們就來具體講解這三種工藝的區(qū)別：

①感光蝕刻：顧名思義，感光蝕刻采用的就是曝光顯影的前處理方法，工藝流程：涂布/噴漆→烘烤→曝光→顯影→蝕刻→退膜→成品；感光蝕刻工藝適用于精度要求較高，如：不銹鋼過濾網(wǎng)蝕刻片、篩網(wǎng)、燈飾、表盤蝕刻、五金工藝品雙面鏤空等，而傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷和貼不干膠，是很難達(dá)到這種要求的，且感光蝕刻前處理菲林膠片可以自己設(shè)計，成本低，可重復(fù)使用；

②絲網(wǎng)印刷：絲網(wǎng)印刷廣泛用于不銹鋼裝飾板、電梯板，廣告標(biāo)識標(biāo)牌行業(yè)，適用于一種圖案做一批產(chǎn)品，工藝流程：絲印→晾干/烤干→蝕刻→白化→退膜→洗板烘干→覆膜→成品；絲網(wǎng)印刷蝕刻工藝較為簡單，蝕刻圖案較為簡單，精度不高，成本也是的；

③貼不干膠：廣泛用于標(biāo)識標(biāo)牌廣告行業(yè)，貼不干膠特點就是方便后期上色（噴漆），不干膠圖案可自己在電腦輸出；工藝流程：貼不干膠→蝕刻→清洗→烘干→噴漆上色→高溫烘烤→撕掉不干膠→成品；

蝕刻機價格差的體現(xiàn)：    1、恒溫控制：要想一臺蝕刻機在正常生產(chǎn)時達(dá)到持久使用而且不影響產(chǎn)品品質(zhì)的情況下，光靠基本的循環(huán)高壓噴淋是不夠的，因為蝕刻機在工作的時候把動能轉(zhuǎn)化成了熱能，大家都知道化學(xué)反應(yīng)對溫度是有要求的，所以溫度不斷的上升，對我們腐蝕加工時有很大影響的，所以設(shè)備里面里面是裝有恒溫控制系統(tǒng)的;    2、搖擺噴淋：另一方面，如果我們做的標(biāo)牌上面是大面積腐蝕的話，我們的蝕刻機還需要配備搖擺功能，使噴淋裝置在霧狀噴淋的時候可以來回?fù)u擺，不至于一直定在同一個位置噴淋，如果整個工序下來對工件的同一位置噴淋得太集中的話，就會造成深淺不一，從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量。    3、三層過濾：過濾系統(tǒng)是蝕刻機不可或缺的一部分，因為蝕刻機使用的是固體溶液，或多或少會有一點固體顆粒物殘渣，如果缺少過濾裝置的話，蝕刻機的噴淋系統(tǒng)是很容易堵塞的，所以常規(guī)的蝕刻機都會帶有過濾系統(tǒng)，過濾系統(tǒng)分多層過濾和基本過濾，精密的過濾系統(tǒng)是在大水箱、小水箱以及過濾器都會裝上過濾裝置的，基本的過濾就只會在大水箱上開孔過濾引流，效果比起三層過濾會差很多。    4、快拆噴盤：使用快拆式噴盤的好處是噴淋裝置上的噴頭都安裝在一個整體的噴盤之上，如果噴頭堵塞需要清洗的時候，我們只需要整體拆卸噴盤即可，無需單個拆卸清洗安裝，省去了大量的時間。    5、.機身材料：針對五金深腐蝕加工采用PP塑料板材更耐高溫，不易老化使用壽命長，PP板材本身是耐高溫的工程塑料，且焊接的難度大，造成的人工量也較大，有些廠家為了節(jié)省材料成本和人工成本用其他材料替代。

　關(guān)于把蝕刻機技術(shù)工藝用于金屬上，早的文字記載是出現(xiàn)在15實際的一份英國手抄本上面，它描述是一種用鹽、活性炭和醋所配置的蝕刻機技術(shù)液，和一種亞麻仁油組成的涂層做防護(hù)保護(hù)層。加工時，先把防蝕刻機技術(shù)材料按照成品工件樣式涂上保護(hù)區(qū)圖案，區(qū)域的金屬就被酸所腐蝕咬掉。在往后就是用先進(jìn)一點的石蠟和天然樹脂做防護(hù)層。使用這種方法時，先要在整個材料上涂上石蠟，然后把需要雕刻腐蝕的地方的石蠟刮下來，這就是臺階式化學(xué)腐蝕或外形腐蝕加工的起源。

　　用一種液體去消除一種或多種金屬材料的可能性，首先取決于這種化合物的效能，也就是說這種化合物的腐蝕性。只有這種化合物的腐蝕性足夠強才有可能被利用成做蝕刻機技術(shù)的化學(xué)原料。從這也可知，化學(xué)腐蝕的重大發(fā)展都是由于化學(xué)蝕刻機技術(shù)液的發(fā)展所取得的直接成果。此外第二個決定性作用的是防腐材料的發(fā)現(xiàn)和發(fā)展，因為這控制著我們對同一金屬上了有針對性的局部腐蝕才能真正生產(chǎn)加工出我們所需要的產(chǎn)品，因此防護(hù)材料是相當(dāng)重要的。自從有了腐蝕加工技術(shù)以來，防護(hù)技術(shù)及腐蝕工藝方法一直都是保證加工質(zhì)量的管件。。