流量控制器的控制響應速度

物理時間常數(shù)

物理時間常數(shù)用希臘字母Tau來表示，是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來描述響應時間的標準之一，即：控制器到達設定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數(shù)底數(shù)的無理數(shù)，其值為2.72，所以1-1/e即為設定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準，可能說明不了什么問題，因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。流量控制器的穩(wěn)定控制時間由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。從下面示波器截圖中可以看到：ALICAT?質(zhì)量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設定值的63.2%。

任意設定值百分比變化區(qū)域

不少質(zhì)量流量控制器的技術參數(shù)采用設定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。由于和后的 10%控制響應曲線變化，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示，ALICAT?質(zhì)量流量控制器用了11.4毫秒到達設定值， 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設定值10%到達90%所用的時間來定義設備響應速度的話，那么結(jié)論是6~7毫秒。四、設備的精度高價位也會高，并且還需要精心的維護，在振動以及使用條件進行經(jīng)常檢查等，確保精度以及儀表的安全。

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流量控制器

使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源, 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通常可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC, 這時MFC的工作壓差范圍, 也會變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時, 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露, 可以對管路和MFC適當加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上, 需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩(wěn)定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓,適當調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。

選擇產(chǎn)品和訂貨時應當注意

注意選擇合適的響應時間指標

有的應用系統(tǒng)對MFC的響應時間有較高的要求，用戶應根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應時間指標的同時，還應注意其響應過程及動態(tài)特性。

注意對安裝位置有無要求

有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。

注意使用氣體和適用范圍

MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。

注意接頭形式

通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應用。

訂貨應注明：

產(chǎn)品名稱、型號、流量規(guī)格、標定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數(shù)量。