什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。脈動引起的測量誤差通常使儀表輸出偏高，其程度取決于脈動幅值和頻率。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

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流量控制器的特點

地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。

適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品流量范圍可達0～5 sccm，流量范圍可達0～200 slm。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測雖確等優(yōu)點。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%， 流量控制范圍是滿量程的2～100% 量程比為-- 50:1， 因此在很多領域得到廣泛應用。

流量控制器安全使用準則

①質(zhì)量流量控制器應用的成功與否，與安裝有直接關系。用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質(zhì)量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的，所以對來自管線及現(xiàn)場環(huán)境的振動要盡量設法避免。

②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定，質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表，零點的漂移對測量結果有影響，長期使用時一定要定期進行標定。

③一定要避免超過使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生，這會引起儀表測量度的下降，嚴重時會導致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。

④質(zhì)量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源，對現(xiàn)場的振動及使用條件進行經(jīng)常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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分析流量控制器的應用領域

分流器決定主通道的流量。質(zhì)量流量控制器抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能。與它配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設定電位器，外設、內(nèi)設轉(zhuǎn)換和三位閥控開關等。質(zhì)量流量控制器抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能。

其基本技術指標已達到先進水平，每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，多種輸出能滿足您的各種需求。當用于大流量測量時，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴大量程范圍?？芍苯佑脕頊y量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。質(zhì)量流量控制器即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能

提高流量測量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報警的流量儀表如果不可靠，應該聯(lián)鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導致不應有的停車，造成損失。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降,即壓差。工業(yè)爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導致爐子熄火，釀成事故。用于過程控制的質(zhì)量流量控制器儀表如果不可靠，容易為調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)出錯誤信息，導致調(diào)節(jié)系統(tǒng)失調(diào)，破壞生產(chǎn)過程的穩(wěn)定，影響產(chǎn)品的質(zhì)量、產(chǎn)量和物耗，造成損失?？梢钥闯?，流量儀表的可靠性是較為重要的。