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硅片高速減薄機(jī)特點(diǎn)
北京凱碩恒盛科技有限公司主營項(xiàng)目:雙面研磨機(jī),內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機(jī),軸承磨加設(shè)備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。
硅片高速減薄機(jī)特點(diǎn):
1.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
2.減薄,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。
3.系列研磨機(jī)采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
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立式減薄機(jī)IVG-200S設(shè)備規(guī)格
設(shè)備規(guī)格:
1)磨盤主軸系統(tǒng)
A) 類型:滾子軸承
B) 電機(jī):AC 伺服電機(jī)(3.0kW)
C) 砂輪規(guī)格:Ф200mm
2) 工件盤主軸系統(tǒng)
A) 類型:滾子軸承
B) 電機(jī):齒輪電機(jī)(0.75kW)
3) 進(jìn)給系統(tǒng)
A) 類型:Combination of Ball Serve and LM Guide
B) 電機(jī):微步進(jìn)給電機(jī)
C) 控制:0.1μm Control by Linear Scale Feedback
4) 控制系統(tǒng)(PLC)
A) 制造商:Parker Hannifin Co.
B) 控制器:SX Indexer/Drive
C) 顯示系統(tǒng):EASON 900
5) 輔助設(shè)備
A) 電源:220V,50Hz,3相,5kW
B) 氣壓:5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6Mpa)
C) 離心分離機(jī):Sludge Free(SF100)(選配件)
D) 水箱容量:200L
E) 冷凝器:0.5kw
F) 過濾裝置:20μm,10μm Cartridge Filter
6) 尺寸及重量
設(shè)備尺寸:1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)
設(shè)備重量:1,400kg