磁控濺射鍍膜設備技術(shù)的特點

(1)離子轟擊滲擴更快因為選用低溫等離子無心插柳，為滲劑分子和正離子的吸咐和滲人造就了高寬比活性的表層，提升了結(jié)晶中缺點的相對密度，比傳統(tǒng)式的汽體滲擴技術(shù)性速率明顯增強。在一樣加工工藝標準下，滲層深度1在0.05二以內(nèi)，比汽體滲擴提升1倍。在硬塑鍍層中的運用：例如切削刀具、模具和耐磨損抗腐蝕等零配件。在較高溫度下，1h就能達lmm厚。

(2)對鋼件表層改性材料成效顯著，工藝性能高，真空泵加溫易清除高溫冶煉廠時融解的汽體，并可根據(jù)滲人金屬材料更改PCB的機構(gòu)和構(gòu)造，使耐磨性能、耐蝕性、強度和斷裂韌性等眾多特性獲得改進。若為環(huán)形磁場，則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動，它們的運動路徑不僅很長，而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材，從而實現(xiàn)了高的沉積速率。而且因為清理功效，使金屬材料粗糙度減少，除去不銹鋼鈍化的殘渣和廢棄物，改進了金屬材料的工藝性能。 

(3)加工工藝適應能力強，有利于解決方式繁雜的鋼件。磁控濺射鍍膜設備技術(shù)的特點(1)鋼件形變小因為鋼件表層勻稱遮蓋輝光，溫度完整性好，能夠根據(jù)操縱輸出功率輸出來保持勻稱提溫。傳統(tǒng)式的正離子注人技術(shù)性的致命性缺點是注人全過程是1個視野全過程，只能曝露在正離子搶口下的鋼件表層能夠被注人，針對鋼件中必須表層改性材料的內(nèi)表層或管溝表層等，離子束則很難達到，而且一回只有注一人鋼件，注人率低，機器設備繁雜價格昂貴

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濺射鍍膜機濺射鍍技術(shù)應用

蒸發(fā)鍍應用新型電極 引入裝置，接觸電阻小且可靠;磁控濺射應用鍍膜材料廣泛，各種非導磁的金屬、合金均可作鍍料;結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小;磁控、蒸發(fā)共用兩臺立式工件車，操作 方便、。 (或雙門蒸發(fā)、磁控兩用機) 公司業(yè)務范圍真空鍍膜成套設備與技術(shù)，真空工程用各種泵、閥、真空計、油、脂、密封件，真空鍍膜材料、涂料、金屬及合金制品。真空設備故障診斷與排除、老 產(chǎn)品改造。為便于控制氧含量,我們采用混合比為85∶15的氧混合氣代替純氧,氣體噴孔的設計保證了基底各處氧分子流場的均勻性。新型塑料、金屬、玻璃等制品表面處理工藝及技術(shù)研究，咨詢服務。新技術(shù)、新設備、新工藝公司新開發(fā)的磁控、蒸發(fā)多用鍍膜機，配用改進型高真空抽 氣系統(tǒng)及全自動控制系統(tǒng)，抽速快、、操作簡單、工作可靠;具有可鍍膜系廣、膜層均勻、附著力好、基板溫度底等特點;是鍍制金屬、合金及化合物膜的理 想設備;適合鍍制透明膜、半透明膜、超硬膜、屏蔽膜及一些特殊的功能性膜。已廣泛應用在光學、電子、通訊、航空等領(lǐng)域。

鍍膜設備原理及工藝

主要濺射方式：

反應濺射是在濺射的惰性氣體氣氛中,通入一定比例的反應氣體,通常用作反應氣體的主要是氧氣和氮氣。

直流濺射(DC Magnetron1 Sputtering)、射頻濺射(RF Magnetron1 Sputtering)、脈沖濺射(PulsedMagnetro n1 Sp uttering)和中頻濺射(Medium Fre2quency Magnetro2 n Sp uttering)

直流濺射方法用于被濺射材料為導電材料的濺射和反應濺射鍍膜中,其工藝設備簡單,有較高的濺射速率。

中頻交流磁控濺射在單個陰極靶系統(tǒng)中,與脈沖磁控濺射有同樣的釋放電荷、防止打弧作用。中頻交流濺射技術(shù)還應用于孿生靶(Twin2Mag)濺射系統(tǒng)中,中頻交流孿生靶濺射是將中頻交流電源的兩個輸出端,分別接到閉合磁場非平衡濺射雙靶的各自陰極上,因而在雙靶上分別獲得相位相反的交流電壓,一對磁控濺射靶則交替成為陰極和陽極。在真空條件下氣體之間不可能進行熱傳導，所以，化學反應必須在一個固體表面進行。孿生靶濺射技術(shù)大大提高磁控濺射運行的穩(wěn)定性,可避免被毒化的靶面產(chǎn)生電荷積累,引起靶面電弧打火以及陽極消失的問題,濺射速率高,為化合物薄膜的工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)奠定基礎。

連續(xù)式的磁控濺射生產(chǎn)線 總體上可以分為三個部分: 前處理, 濺射鍍膜, 后處理。

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磁控濺射鍍膜機

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目前國內(nèi)窗膜行業(yè)的批發(fā)商及終端店很多人都吃過磁控鍍銀膜氧化的虧，產(chǎn)品賣出后幾個月，開始大面積氧化，需要賠償，甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問題特別多，搞得很多人談磁控膜色變的地步。而在15、16年后，問題得到解決。慢慢地就沒多少氧化問題出現(xiàn)了。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜，一說磁控膜就問會不會氧化。其實大可不必擔心，大部分的側(cè)檔都不是銀的，請放心使用。且這兩年的技術(shù)進步，國內(nèi)各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。其實在玻璃鍍膜行業(yè)，早就解決了氧化問題，我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時內(nèi)合成中空，不然就會氧化。當時low-e與中空都是鍍膜廠做的，下邊玻璃加工廠根本無法介入，而現(xiàn)在鍍膜廠只需生產(chǎn)玻璃鍍膜原片。連續(xù)式的磁控濺射生產(chǎn)線總體上可以分為三個部分:前處理,濺射鍍膜,后處理。且玻璃原片爆露在空氣中可達6個月以上，都不會氧化。這樣中空玻璃，一些門窗廠，幕墻公司、小規(guī)模的玻璃深加工工廠，都可以生產(chǎn)low-e中空玻璃了，加上政府政策的支持與引導，大大的加快了low-e玻璃的發(fā)展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應多去看看玻璃行業(yè)的low-e鍍膜，多些交流。畢竟生產(chǎn)原理是一樣的東西，技術(shù)是相通的。很多東西是可以套用的，low-e鍍膜得到了規(guī)?；陌l(fā)展，技術(shù)工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的，如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發(fā)展，才是正道。就目前來說，僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對抗，是不可能有成本上優(yōu)勢的。但都是鍍膜，如何做差異化，我目前也只是拋磚引玉，只有大家一起開動腦袋了。