速度和易用性

Admesy 堅(jiān)信在開發(fā)和生產(chǎn)設(shè)備過程中速度和易用性是較核心的要素。為了達(dá)到這方面要求，Admesy 非常注重光譜儀的以下幾個(gè)方面：

波長校準(zhǔn)

? 暗電流

? 線性度

? 絕i對校準(zhǔn)

計(jì)算和補(bǔ)償都能在 14ms 內(nèi)完成。這些能實(shí)現(xiàn)都得益于 Hera 自身的高速處理器及其獨(dú)有的運(yùn)算方法。在生產(chǎn)過程中，不需要外界電腦的計(jì)算。數(shù)據(jù)可直接應(yīng)用于生產(chǎn)設(shè)定且沒有任何延i時(shí)。這大大節(jié)省了操作系統(tǒng)在生產(chǎn)線上的處理時(shí)間。并且 Hera 光譜儀還具備自適應(yīng)調(diào)節(jié)的功能：自動(dòng)選擇良好積分時(shí)間。同時(shí)這個(gè)積分時(shí)間我們也可以手動(dòng)調(diào)整。

光譜儀構(gòu)成

一臺(tái)典型的光譜儀主要由一個(gè)光學(xué)平臺(tái)和一個(gè)檢測系統(tǒng)組成。包括以下幾個(gè)主要部分：

1. 入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統(tǒng)的物點(diǎn)。

2. 準(zhǔn)直元件: 使狹縫發(fā)出的光線變?yōu)槠叫泄狻Ｔ摐?zhǔn)直元件可以是一獨(dú)立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。

3. 色散元件: 通常采用光柵，使光信號(hào)在空間上按波長分散成為多條光束。

4. 聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點(diǎn)對應(yīng)于一特定波長。

5. 探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長像點(diǎn)的光強(qiáng)度。該探測器陣列可以是CCD陣列或其它種類的光探測器陣列。

光譜儀的透射測定

光譜儀的透射率或它的效率可用輔助單色儀裝置來測定。在可見和近紫外實(shí)現(xiàn)這些測量沒有任何困難。測量通過第i一個(gè)單色儀的光通量，緊接著測量通過兩個(gè)單色儀的光通量，以這種方式來確定第二個(gè)單色儀的透射率。

絕i對測量需要知道單色儀的絕i對透射率：對于相對測量，以各種波長處的相對單位可以測量透射率。真空紫外線的這些測量有相當(dāng)大的實(shí)驗(yàn)困難，因此通常使用輔助單色儀。在各種入射角的情況下分別測量衍射光柵的效率。在許多實(shí)驗(yàn)步驟中已成功地避免了校準(zhǔn)上的困難。

曾經(jīng)研究過光柵效率與波長、入射角、鍍層厚度、鍍層材料以及其它因素的關(guān)系。所有這些測量都指出，在許多情況下能量損失是非常顯著的，并且光柵的效率低于1%，光柵的不同部分可能有明顯不同的效率。