對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。凈化工程要求施工在鋪設(shè)塑料片或線圈表面之前，應(yīng)根據(jù)尺寸和厚度對(duì)其進(jìn)行預(yù)分類。微電子技術(shù)的核心是集成電路，而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國(guó)“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。隨著我國(guó)人民生活水平提高，人們對(duì)生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來(lái)越高要求，用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術(shù)已開(kāi)始進(jìn)入千家萬(wàn)戶，進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。

精密儀器室內(nèi)配備了很多精密儀器，所以進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)時(shí)要讓精密儀器室遠(yuǎn)離灰塵、煙霧、噪音和震動(dòng)源。平面布置可以有以下幾種方式：外廊環(huán)繞式：外廊可以有窗和無(wú)窗，兼作參觀和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，對(duì)實(shí)驗(yàn)、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來(lái)越高，空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴(kuò)大?，F(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含空氣的溫度、濕度和速度的概念，而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度、壓力以至成分、氣味的概念，以適應(yīng)現(xiàn)代化的科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)對(duì)空氣潔凈度的要求。

根據(jù)我國(guó)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB 50073-2001）規(guī)定不同級(jí)別的非單向流無(wú)塵室工程、潔凈室工程、無(wú)菌室工程等送風(fēng)量的計(jì)算所需的換氣次數(shù)以及無(wú)塵室工程的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是無(wú)塵室工程設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問(wèn)題，隨著無(wú)塵室污染源的控制效果增加及末端過(guò)濾器效率的提高等，對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論；FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決。同時(shí)，當(dāng)各種化學(xué)物質(zhì)混合在一起呈現(xiàn)混合狀態(tài)的時(shí)候，是很難辨別的，因此憑氣味來(lái)判斷有沒(méi)有污染或是什么污染是不準(zhǔn)確的。