為了避免電壓瞬變、瞬時(shí)停電、電壓不足等現(xiàn)象，可以根據(jù)需求選用不間斷電源（UPS）。 進(jìn)行精密儀器室設(shè)計(jì)的同時(shí)，也要做好相關(guān)配套化學(xué)處理室的設(shè)計(jì)工作，因?yàn)檫@在保護(hù)儀器和加強(qiáng)管理上是非常必要的

。亂流潔凈室送風(fēng)量：亂流潔凈室送風(fēng)量的理論計(jì)算（其中nv—潔凈室換氣次數(shù)，次/h；V—潔凈室凈體積，m3；G—單位容積發(fā)塵量，粒/（m3.min）；N—亂流潔凈室穩(wěn)定含塵濃度，粒/L；S—回風(fēng)量與送風(fēng)量之比；ηh—回風(fēng)通路上過濾器的總效率；1μm(4GDRAM)產(chǎn)品已進(jìn)人市場,硅片加工中的光刻工序?qū)ξ⒄駝?dòng)的控制要求極為嚴(yán)格。ηx—新風(fēng)通路上過濾器的總效率）

手術(shù)室及潔凈輔助用房的外窗必須是雙層密閉窗。 外窗框與墻體之間的縫隙在室內(nèi)即正壓面采用硅酮膠封閉，傳遞窗窗框與墻體的縫隙在墻體兩側(cè)用硅酮膠封閉，傳遞窗兩側(cè)的門扇要具有聯(lián)鎖裝置。門框與門扇的縫隙周邊連續(xù)敷設(shè)彈性密封條，使門關(guān)閉后形成密閉的密封線。 配電盤要求防塵，柜安裝前要做衛(wèi)生，安裝后還要做衛(wèi)生，并能使門關(guān)閉嚴(yán)密。安裝插座、插座箱及線盒內(nèi)必須打掃干凈，緊貼墻面，安裝端正。吸頂式燈具要緊貼吊頂，擦拭干凈，所有進(jìn)出管頭都要采取密封措施?？諝夥肿涌刂浦饕獞?yīng)對(duì)空氣分子污染(AMC)，這類污染的控制要比粒子污染困難許多。

潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求在可能的情況下更換絕緣材料并在必要時(shí)安裝電力技術(shù)。讓潔凈室管理人員進(jìn)行靜態(tài)審核以識(shí)別潛在問題以及可能導(dǎo)致問題的原因非常重要。 潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求做好溫濕度控制，因?yàn)闈崈羰覍?shí)驗(yàn)需要控制溫濕度以防止腐蝕、防止工作面冷凝，并減少放電。 潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)要求必須安裝HEPA過濾器，這對(duì)于控制污染至關(guān)重要。吊頂?shù)墓潭ǖ鯍觳糠种荒芘c主結(jié)構(gòu)連接，不能與設(shè)備和管道支架混合使用。