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無塵車間的清潔要求
(1)清潔潔凈室內(nèi)的墻時應使用潔凈室無塵布;
(2)用90%去離子水和10%的異bing醇配置清潔劑;
(3)使用已獲批準的潔凈室去污劑;
(4)每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱,并及時清走。
(5)每塊地板都要吸塵。每次交接班時,都應在地圖上標明工作完成情況,例如在哪結束從哪開始。
(6)清潔潔凈室的地面應使用拖把。
(7)在潔凈室里吸塵應使用帶有過濾器的真空吸塵器。
(8)所有的門都需要檢查并擦干
(9)吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
(10)架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
(12)工作時一定要記住,永遠是由上往下擦,從離門很遠的地方向門的方向擦。
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無塵車間的風速影響
小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯,風速低了,氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些,粉塵就有更多的機會撞擊障礙物,因此過濾效率就高。潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。經(jīng)驗表明,對于過濾器,風速減少一半,粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9),風速增加一倍,透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。
與擴散的效果類似,當過濾材料帶靜電時(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時間越長,被材料吸附的可能性就越大。改變風速,帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電,進行空調(diào)系統(tǒng)設計時就應該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。
對于以慣性機理為主的大顆粒粉塵,根據(jù)傳統(tǒng)理論,風速降低后,粉塵與纖維碰撞的幾率會減少,過濾效率會隨之降低。但在實踐中這種影響并不明顯,因為風速小了,纖維對粉塵的反彈力也小了,粉塵更容易被粘住。
在應用潔凈室技術的相關行業(yè)中,電子行業(yè)對潔凈及相關受控環(huán)境依賴性大,潔凈技術在電子行業(yè)應用約占整個潔凈行業(yè)市場的67%。各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產(chǎn)設備前應有過濾設備。在我國,電子行業(yè)每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),也是潔凈室相關供應商的重要用戶。據(jù)調(diào)查,世界上面積大的潔凈室即應用于平板顯示行業(yè),一個單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機。
潔凈技術對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大,因為它與產(chǎn)品的成品率有著直接關系。電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。