凈化工程之“肺“--HEPA過濾器的由來

國(guó)人那時(shí)開始對(duì)這種過濾器結(jié)構(gòu)產(chǎn)生興趣。20世紀(jì)80年代，國(guó)內(nèi)多家院所和企業(yè)研制無隔板過濾器；20世紀(jì)90年代，國(guó)內(nèi)數(shù)家企業(yè)引進(jìn)國(guó)外無隔板過濾器成套生產(chǎn)線。自此,我國(guó)慢慢開始發(fā)展自己的過濾器產(chǎn)業(yè).

自以來，過濾器凈化用途已經(jīng)從原來單純的個(gè)人防護(hù)向企業(yè)工作環(huán)境的空氣凈化方面發(fā)展,廣泛應(yīng)用于光電子、半導(dǎo)體。

過濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應(yīng)用

粒徑分布在0.1μm ~0.3μm。冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經(jīng)laskin噴管飛濺產(chǎn)生物態(tài)的多分散相DOP（PAO）氣溶膠，分布粒徑在0.65μm左右。對(duì)過濾器進(jìn)行掃描檢漏時(shí)，經(jīng)常使用冷DOP（PAO）。

檢測(cè)儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計(jì)，另一種是粒子計(jì)數(shù)器，過濾器檢漏中常用的檢測(cè)儀器是氣溶膠光度計(jì)（以下簡(jiǎn)稱光度計(jì)）。

在20 Pa工作壓力下，氣流速率為50~2025 f3/min時(shí)，可產(chǎn)生10μg/mL~100μg/mL 濃度的多分散性亞微米級(jí)油塵氣溶膠。使用的氣溶膠光度 計(jì)為ATI 2H型光度計(jì)，動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍為0.00005 μg/L ~120μg/L，采樣流量為lf3/min（28.3 L/min）。在待測(cè)HEPA上游一側(cè)引入PAO氣溶膠于HVAC 系統(tǒng)中的HEPA，為使氣溶膠到達(dá)HEPA時(shí)的濃度均勻。

按照氣溶膠光度計(jì)操作要求進(jìn)行初始化、設(shè)定報(bào)警值。將UPSTREAM采樣管與上游采樣口相連，測(cè)量上游氣溶膠的濃度。按照氣溶膠發(fā)生器操作要求調(diào)節(jié)發(fā)生的氣溶膠濃度，使上游氣溶膠濃度達(dá)到10 mg/L~30 mg/L。

掃描檢漏卸下HEPA的散流板，對(duì)整個(gè)過濾器面、過濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進(jìn)行掃描。