用于電廠檢漏的檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。

據(jù)日本有關文章介紹，日本汽車制造業(yè)，已有30多種零部件在使用檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、汽車輪轂。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。檢漏儀主要技術指標：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

氦氣檢漏儀可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經(jīng)漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。檢漏時噴在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時間也越長。

檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準確性；實時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；檢漏儀設備內芯制造借鑒國外技術，具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動檢漏儀。