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發(fā)布時間:2020-07-29 22:51  






凈化車間凈化工程的工作流程是怎樣的

無塵凈化工程對車間有明確的要求,為了滿足需要、保證產品質量,要對車間的環(huán)境、人員、設備和生產過程等進行控制。車間的管理,包括對車間工作人員、物料以及設備、管線管理。對車間工作人員工作服的制作,車間的清洗。室內設備及裝修材料的選擇和清掃、滅菌等,防止車間內塵粒、微生物的產生。設備、設施的維護管理,制定相應的操作規(guī)范,保證設備按要求運轉,包括凈化空調系統(tǒng),水氣電系統(tǒng)等,確保生產工藝要求和空氣潔凈度等級。對車間內設施的清掃、滅菌,防止車間內微生物的滯留、繁殖等。為了更好地做好無塵凈化工程,就需要從無塵車間著手




凈化車間的原理:

通過空調系統(tǒng)和凈化裝置把空氣進行調濕、調溫和過濾,然后把凈化的空氣通過凈化車間的過濾器送入到凈化車間內,達到潔凈等級的標準.

通常: 溫度: 22℃±3 ℃;濕度:55%±5%.包括:

1.空氣調節(jié)系統(tǒng);

2.2. 空氣凈化系統(tǒng).

凈化車間的類型:

按潔凈度和氣流的狀態(tài)的組合可以分為三種方式:

1.紊亂式凈化車間;

2.水平平行流式凈化車間;

3.垂直平行流式凈化車間

通過凈化車間屋頂的過濾器出口向屋內送風.通過墻壁的排氣口回風,以玻璃纖維為主

體的制成的過濾網。




凈化車間屬于人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。


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