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隨著工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展,對材料的綜合性能要求也不斷提高,單一材料性能已不能滿足某些特定環(huán)境下工作機(jī)械的性能要求。國內(nèi)真空離子鍍膜機(jī)經(jīng)過幾十年的發(fā)展,相對于國外鍍膜設(shè)備而言,在自動化程度與技術(shù)上取得了一定的進(jìn)步,但在鍍膜產(chǎn)品穩(wěn)定性和性方面尚需提升,設(shè)備仍依賴進(jìn)口。同時多弧離子鍍膜機(jī)低端產(chǎn)品市場存在供大于求的情況,價格競爭較為激烈。首先,被鍍膜材料表面肯定是有灰塵的,在盡量減小材料表面灰塵的前提下,我們還應(yīng)當(dāng)注意以下幾點:1、真空鍍膜設(shè)備使用一段時間后,必須要對設(shè)備進(jìn)行清潔維護(hù)。
未來發(fā)展策略
1、目前實體經(jīng)濟(jì)走勢整體疲弱,復(fù)蘇充滿不確定性,經(jīng)濟(jì)處于繼續(xù)探底過程,真空鍍膜設(shè)備制造企業(yè)應(yīng)著力進(jìn)行產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級,重質(zhì)量、重服務(wù)明確市場定位,大力研發(fā)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的新產(chǎn)品新工藝,提高產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)水平。
2、依托信息化發(fā)展趨勢,堅持“以信息化帶動工業(yè)化,以工業(yè)化促進(jìn)信息化”,走出一條科技含量高、經(jīng)濟(jì)效益好、資源消耗低、環(huán)境污染少、人力資源優(yōu)勢得到充分發(fā)揮的新型工業(yè)化路子。
3、依托政府支持,大力加強(qiáng)與擁有行業(yè)先進(jìn)技術(shù)和工藝水平的科研院所、大型企業(yè)、高校合作,使得新品能迅速推向市場。
真空鍍膜技術(shù)及設(shè)備擁有十分廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域和發(fā)展前景。未來真空鍍膜設(shè)備行業(yè)等制造業(yè)將以信息化融合為,依靠技術(shù)進(jìn)步,更加注重技術(shù)能力積累,制造偏向服務(wù)型,向世界真空鍍膜設(shè)備行業(yè)等制造業(yè)價值鏈挺進(jìn)。
鍍膜技術(shù)在集成電路制造中的應(yīng)用 晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)。可見氣相沉積術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。