利用石英撓性加速度計(jì)可以測(cè)量航天器低頻微振動(dòng),同時(shí)也可實(shí)現(xiàn)航天器在軌微角振動(dòng)的間接測(cè)量。針對(duì)航天器特點(diǎn),結(jié)合石英撓性加速度計(jì)工作特性,提出用石英撓性加速度計(jì)測(cè)量航天器微振動(dòng)的方法,給出微振動(dòng)加速度、角加速度、角速度和角位移的不確定度分析,根據(jù)測(cè)量原理給出了各影響因素對(duì)測(cè)量合成不確定度的計(jì)算方法和分析結(jié)果。三軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)具有優(yōu)良的長(zhǎng)期穩(wěn)定性、重復(fù)性、啟動(dòng)性能、環(huán)境適應(yīng)性及可靠性高等特點(diǎn)。產(chǎn)品既可用于靜態(tài)測(cè)試也可以用于動(dòng)態(tài)測(cè)試，也是一款標(biāo)準(zhǔn)的振動(dòng)傳感器。

石英撓性伺服加速度計(jì)是一個(gè)力平衡式的伺服系統(tǒng)。其特點(diǎn)是精度高、穩(wěn)定性好、分辨率高。特別是其敏感元件是由接近零溫度系數(shù)的熔融石英玻璃制成，使整個(gè)加速度計(jì)具有滯后小、重復(fù)性高、漂移小、熱穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。三軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)用途：各種交通工具的低頻震動(dòng)，線加速度及慣性運(yùn)動(dòng)的精密測(cè)量或控制。各種大型構(gòu)件、橋梁、水壩、高層建筑、船泊等的搖擺、低頻震動(dòng)及傾斜的精密測(cè)量和控制。機(jī)器人姿態(tài)角控制、 自動(dòng)駕駛儀控制元件及平臺(tái)水平位置的精密測(cè)量和控制。也可對(duì)高聳建筑和大跨度建筑的微震測(cè)量。

石英撓性加速度計(jì)作為慣性儀表，其性能通過(guò)其模型方程系數(shù)的標(biāo)定來(lái)表征。加速度計(jì)模型方程系數(shù)的測(cè)試可采用四點(diǎn)法、八點(diǎn)法、十二點(diǎn)法等方式，為常用的是四點(diǎn)法，即在周向360°范圍內(nèi)，均分4點(diǎn)，每90°一個(gè)點(diǎn)，通過(guò)測(cè)試設(shè)備和工裝實(shí)現(xiàn)每個(gè)位置，加速度計(jì)的實(shí)時(shí)輸出，并利用各點(diǎn)的輸出值，計(jì)算得到加速度計(jì)模型方程系數(shù)值。現(xiàn)有石英撓性加速度計(jì)測(cè)試過(guò)程一般是在精密光學(xué)分度頭上進(jìn)行，精密光學(xué)分度頭可實(shí)現(xiàn)周向360°內(nèi)不同角度的設(shè)定及固定。可以滿足加速度計(jì)模型方程系數(shù)的測(cè)試要求。

三軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)由力矩器由軛鐵、磁鋼、磁極片與補(bǔ)償環(huán)組成，其中磁鋼選用合適的永磁材料構(gòu)成永磁體以建立磁場(chǎng)，軛鐵與磁極片使磁場(chǎng)沿軛鐵形成磁回路，補(bǔ)償環(huán)對(duì)漏磁進(jìn)行補(bǔ)償，上下力矩器采用同極對(duì)頂結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)推挽工作方式，通過(guò)腹帶將上下力矩器與擺片固定為整體，當(dāng)外界有加速度輸入時(shí)，擺片受慣性力作用將離開(kāi)平衡位置。此時(shí)由擺片上下表面與上下力矩器端面組成的差動(dòng)電容容值將發(fā)生改變，這一電信號(hào)通過(guò)接線柱輸出至伺服回路。經(jīng)過(guò)放大的電流信號(hào)輸出至線圈，利用通電導(dǎo)線在磁場(chǎng)中受到的安培力經(jīng)推挽作用使擺片回復(fù)平衡位置。在擺片偏轉(zhuǎn)角度很小的情況下，該電流近似與輸入加速度呈線性關(guān)系。此時(shí)檢測(cè)該電流就能得到輸入加速度大小。