優(yōu)點(diǎn):A.不需要占用機(jī)房面積,布置很靈活的;B.可以滿足空氣的潔凈度;C.造價(jià)低。如此類(lèi)無(wú)塵車(chē)間初投資約需要40萬(wàn);D.送風(fēng)均勻度好。缺點(diǎn):A.溫濕度控制較差;B.可以滿足空氣的潔凈度;C.FFU的維修頻率高。光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度:LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;C.造價(jià)較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵車(chē)間/廠房。光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī) FFU送風(fēng)口這是簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來(lái),在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物的化學(xué)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。